[实用新型]一种高速DFB激光器有效
申请号: | 201921537626.0 | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN210468377U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 单智发;张永;姜伟;陈阳华 | 申请(专利权)人: | 全磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/12 | 分类号: | H01S5/12;H01S5/22;H01S5/34;H01S5/343 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 刘计成 |
地址: | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高速 dfb 激光器 | ||
1.一种高速DFB激光器,其特征在于:该激光器的外延结构包括InP衬底(01),所述InP衬底(01)上沉积有缓冲层(02),所述缓冲层(02)的左上方沉积有纵向限制层(04);所述缓冲层(02)的右上方由下往上依次沉积有光栅层(03)、过度层(05)、有源区下限制层(06)、下波导层(07)、量子阱(08)、上波导层(09)和有源区上限制层(10);所述纵向限制层(04)与所述有源区上限制层(10)的上端齐平且两者上方沉积一腐蚀阻挡层(11);所述腐蚀阻挡层(11)的上方依次沉积有联接层(12)、第一势垒渐变层(13)、第二势垒渐变层(14)和欧姆接触层(15);所述光栅层(03)为张应变结构且应变量为500-1000ppm。
2.根据权利要求1所述的一种高速DFB激光器,其特征在于:所述光栅层(03)的厚度为40~60nm。
3.根据权利要求1所述的一种高速DFB激光器,其特征在于:所述腐蚀阻挡层(11)的厚度为40~60nm。
4.根据权利要求1所述的一种高速DFB激光器,其特征在于:所述过度层(05)的厚度为26~30nm。
5.根据权利要求1所述的一种高速DFB激光器,其特征在于:所述缓冲层(02)的厚度为8~12nm。
6.根据权利要求1所述的一种高速DFB激光器,其特征在于:所述第一势垒渐变层(13)、第二势垒渐变层(14)的波长分别为1300nm和1500nm。
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