[实用新型]一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置有效
| 申请号： | 201921532387.X | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN210560699U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;张永;单智发 | 申请（专利权）人： | 苏州全磊光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/50 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 刘计成 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金属 镀膜 辅助 片子 表面 散热 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，其特征在于：包括可放置在镀膜机内的载片台，所述载片台上设置有盖板，所述载片台与所述盖板可拆卸式紧固连接；所述载片台的中部开设有用于放置所述片子的放片槽，所述放片槽的深度低于所述片子的厚度设置；所述放片槽的下端开设有用于镀膜的镀膜孔。
2.根据权利要求1所述的一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，其特征在于：所述盖板的形状与所述载片台的形状彼此对应设置。
3.根据权利要求2所述的一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，其特征在于：所述放片槽的外侧设置有若干第一螺纹孔，所述盖板上对应所述第一螺纹孔的位置均设置有第二螺纹孔，上下对应的第一螺纹孔与第二螺纹孔内设有一可拆卸的螺栓。
4.根据权利要求3所述的一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，其特征在于：所述放片槽的深度与所述片子的厚度之差为40~60μm。
5.根据权利要求4所述的一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，其特征在于：所述载片台与所述盖板的材料均为不锈钢。
6.根据权利要求5所述的一种用于金属镀膜时辅助片子表面散热的装置，其特征在于：所述盖板的厚度为1.5~2.5mm。
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