[实用新型]一种用于特殊气体供应的长管拖车供应系统

说明书

一种用于特殊气体供应的长管拖车供应系统，包括：Pigtail‑Box箱体、控制显示操作单元、工艺气体供应单元、真空排放单元、吹扫单元、报警单元、条码扫描枪和深度吹扫箱、Pigtail单元和地磅。本实用新型与传统技术相比，通过重新设计整套管路和控制系统，避免人工操作的隐患，对供应过程中的安全性进行全面的保障，同时针对长管拖车供应的特殊需要，进行针对性的防护和安全性提升。

技术领域

本实用新型涉及特殊气体输送技术领域，具体涉及一种用于特殊气体供应的长管拖车供应系统。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC 装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC 设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用许多特殊气体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高，一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏如受腐蚀或人为操作失误等因素造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们特别重视且不可小看的。其中特殊气体分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示，特殊气体分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、人员伤亡、爆炸及死亡问题。而造成意外事故的主要原因为人为失误。国内半导体厂都采用各种管理及危害分析方法来达到风险的适当控制，但在人员手动控制的状态下，仍然无法降低风险性。

大流量气体供应设备BSGS主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体。因有些机台所需的流量较大，一般的特殊气体输送柜 GC难以满足流量需求。

为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种用于特殊气体供应的长管拖车供应系统，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。

一种用于特殊气体供应的长管拖车供应系统，其特征在于，包括： Pigtail-Box箱体、控制显示操作单元、工艺气体供应单元、真空排放单元、吹扫单元、报警单元、条码扫描枪、深度吹扫箱、Pigtail单元和地磅，所述控制显示操作单元与Pigtail-Box箱体连接，所述工艺气体供应单元设于 Pigtail-Box箱体内部，所述真空排放单元与工艺气体供应单元连接，所述吹扫单元与工艺气体供应单元连接，所述报警单元与Pigtail-Box箱体连接，所述条码扫描枪与Pigtail-Box箱体连接，所述深度吹扫箱与Pigtail-Box 箱体内部连接，所述Pigtail单元与深度吹扫箱连接，所述地磅设于长管拖车下方；