[实用新型]硅片叠片快速分离装置

权利要求书

1.一种硅片叠片快速分离装置，其特征在于：包括底座、硅片治具和吹气分离机构，所述硅片治具设置在底座上，所述吹气分离机构安装在底座上、且具有分别位于硅片治具相对两侧的两组；硅片依次叠片放置于所述硅片治具上，所述硅片治具连接顶升丝杆机构，所述顶升丝杆机构驱动叠设的硅片上升；所述吹气分离机构包括支撑座、均设置在该支撑座上的硅片检测传感器和吹气分离器；所述硅片检测传感器用于在硅片上升至目标位置时发出启动信号，所述吹气分离机构用于在接收启动信号后向顶层硅片和第二层硅片之间吹气。

2.如权利要求1所述的硅片叠片快速分离装置，其特征在于：所述吹气分离器包括气座，所述气座能够拆卸的安装在支撑座上；所述气座内设有气室，所述气室外接气源，所述气室位于正对硅片治具的一侧设有出气管，所述出气管上设有出气阀，所述出气阀根据启动信号打开或者关闭。

3.如权利要求1所述的硅片叠片快速分离装置，其特征在于：所述支撑座包括安装板和立板，所述吹气分离机构通过安装板固定在底座上；所述安装板上设有固定孔，所述立板上设有沿竖直方向延伸的腰型槽孔，所述立板通过紧固件、固定孔和腰形槽孔的配合能够拆卸的固定在安装板上；所述硅片检测传感器装配在安装板上，所述吹气分离器装配在所述立板上。

4.如权利要求3所述的硅片叠片快速分离装置，其特征在于：所述安装板上位于硅片检测传感器的两侧均设有立板，所述吹气分离机构具有分别装配在两组立板上的两组吹气分离器。

5.如权利要求1所述的硅片叠片快速分离装置，其特征在于：所述顶升丝杆机构包括丝杆组件和顶料架，所述顶料架连接丝杆组件，所述顶料架上围绕其中心设有四组顶料杆；所述硅片治具上围绕其中心通孔设有四组顶料导向孔，所述丝杆组件驱动顶料架上升时，所述四组顶料杆分别穿过四组顶料导向孔顶推硅片治具的硅片托座。

6.如权利要求5所述的硅片叠片快速分离装置，其特征在于：所述硅片治具还包括定位立板，所述定位立板位于硅片托座的外侧，其用于对叠片放置的硅片进行限位，所述定位立板上设有供吹气分离器安装的缺口。