[实用新型]一种工业用大型真空机系统

权利要求书

1.一种工业用大型真空机系统，其特征在于，包含抽真空系统和箱体系统两个子系统；所述抽真空系统包括四个泵：罗茨泵(140)、旋片泵(150)、维持泵(160)和扩散泵(170)，所述罗茨泵和旋片泵上连接有第一管道(14)，第一管道(14)与第二管道(12)相连，第二管道(12)与第三管道(13)相连，第二管道(12)与第三管道(13)端口位于扩散泵的上端，以此将扩散泵与上端与罗茨泵和旋片泵连接，扩散泵的底部连接有第四管道(16)和第五管道(15)，两管道接通连接到第六管道(17)上，第六管道(17)通过第七管道(18)与维持泵连接，通过第八管道(19)与第一管道(14)连接。

2.如权利要求1所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于，所述第二管道(12)端部安装有第一气阀(120)，所述第六管道(17)端部安装有第二气阀(130)。

3.如权利要求1所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于，所述箱体包括箱盖(5)和箱座(6)，箱体通过箱盖顶部的第一通气管(3)和箱座底部的第二通气管(4)与扩散泵连接，其中第二通气管(4)端部为可拉伸和压缩的弹簧管(23)。

4.如权利要求3所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于，所述箱盖(5)通过与地面固定连接的支架(7)固定安装，箱座(6)通过布置在箱座四角的气缸一(8)沿导柱(24)上下往返运动。

5.如权利要求3所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于，所述箱盖(5)和箱座(6)上安装有光幕传感器(9)。

6.如权利要求3所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于，所述箱盖(5)内固定安装有架体(21)，架体(21)上有封装组，每组包含一个固定安装的支撑板和两个与压板相向对称分布的可通过气缸二(10)同步运动的压板。