[实用新型]一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台

权利要求书

1.一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内腔的底部固定连接有支撑架（2），所述支撑架（2）的顶部固定连接有固定槽（3），所述固定槽（3）的内表面固定连接有圆片（4），所述箱体（1）内腔的顶部固定连接有第一滑道（5），且第一滑道（5）的内表面滑动连接有支撑板（6），所述支撑板（6）的内表面螺纹连接有第一螺纹杆（7），所述箱体（1）的背面固定连接有支撑台（8），且支撑台（8）的顶部固定连接有第一电机（9），所述第一螺纹杆（7）的一端通过轴承与箱体（1）的内壁转动连接，所述第一螺纹杆（7）的另一端贯穿箱体（1）并与第一电机（9）输出轴的表面固定连接，所述支撑板（6）的左侧固定连接有吊板（10），且吊板（10）的右侧通过轴承转动连接有第二螺纹杆（11），所述支撑板（6）的右侧固定连接有吊架（12），且吊架（12）的顶部固定连接有第二电机（13），所述第二螺纹杆（11）的一端贯穿吊架（12）并与第二电机（13）输出轴的表面固定连接，所述支撑板（6）的底部固定连接有第二滑道（14），且第二滑道（14）的内表面滑动连接有移动块（15），所述移动块（15）的底部通过微调机构（29）固定连接有第一伸缩杆（16），所述第一伸缩杆（16）推杆的底部螺纹连接有探针（17）。

2.根据权利要求1所述的一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述固定槽（3）的表面开设有气孔（18），且固定槽（3）的底部固定连接有密封筒（19），所述箱体（1）内腔的底部且位于固定槽（3）的下方固定连接有气泵（20）。

3.根据权利要求2所述的一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述气泵（20）进气口的表面连通有进气管（21），所述进气管（21）的一端与密封筒（19）的内部连通，且气泵（20）出气口的表面连通有出气管（22），所述出气管（22）的一端贯穿箱体（1）并延伸至箱体（1）的外部。

4.根据权利要求1所述的一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述箱体（1）的底部固定连接有脚架（23），所述脚架（23）的顶部且位于箱体（1）的右侧固定连接有电箱（24），且电箱（24）的表面通过铰链铰接有第一箱门（25）。

5.根据权利要求1所述的一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述支撑板（6）的内部且位于第一螺纹杆（7）的两侧均贯穿有稳定柱（26），所述稳定柱（26）的两端分别与箱体（1）的前后两壁固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述箱体（1）的表面通过铰链铰接有第二箱门（27），且箱体（1）的顶部固定连接有警示灯（28）。

7.根据权利要求3所述的一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述微调机构（29）包括第二伸缩杆（30）和调节板道（31），所述第二伸缩杆（30）推杆的表面与第一伸缩杆（16）的右侧固定连接，且第一伸缩杆（16）的顶部与调节板道（31）的内表面滑动连接。

8.根据权利要求7所述的一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述第一伸缩杆（16）的底部且位于探针（17）的右侧固定连接有红外线测距仪（32），所述红外线测距仪（32）与单片机（33）实现双向连接，所述单片机（33）的输出端通过导线分别与第一电机（9）、第二电机（13）、第一伸缩杆（16）、探针（17）和第二伸缩杆（30）的输入端电性连接。