[实用新型]一种多晶硅铸锭炉加热组件

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉加热组件，涉及多晶硅铸锭炉技术领域；包括至少三个呈波浪形的加热片，所述加热片环形布置，所述加热片之间设有连接机构，相邻的加热片通过连接机构相连，所述连接机构包括两块分别与该连接机构两侧的加热片固接的连接板、位于连接板之间的调节板，所述调节板与其两侧的连接板滑动连接，所述加热片与连接板之间设有定位销，所述连接板上设有用于将连接板与对应的加热片夹紧的夹紧机构，所述夹紧机构包括两块夹板、位于夹板两端的用于将两块夹板拉紧的螺栓，所述连接板与加热片位于夹板之间。本实用新型长晶界面处于一个水平面上，长晶速度快。另外，结构简单。

技术领域

本实用新型属于多晶硅铸锭炉技术领域，特别涉及一种多晶硅铸锭炉加热组件。

背景技术

传统的加热组件，由波浪形的加热片组成，加热片之间往往采用一块经过简单弯折的平板连接，加热组件套设在一个坩埚上，对坩埚进行加热，加热片包括上水平段与下水平段，在上水平段与下水平段之间的区域能保证良好的温度均匀性。由于平板的长度相对于下水平段的长度较长，假设平板是与下水平段连接，则会导致平板处的温度相比下水平段的温度高（因为平板的长度比下水平段的长度长），而平板上方与上水平段对应的温度会比较低（因为平板上方与水平段对应的区域没有热源），因此加热组件在拐角处具备温度突变性，这会导致长晶界面不能在一个平面上，影响产品质量。

另外传统的加热组件，平板与加热片采用螺栓连接，平板和加热片上打螺栓孔，这改变（减小）了平板与加热片之间的横截面面积，从而减小了加热片上的电流，减小了加热片上的发热量，从而长晶速度减慢。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术长晶界面平面性差，长晶速度慢的缺点，提出一种多晶硅铸锭炉加热组件，长晶界面处于一个水平面上，长晶速度快。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种多晶硅铸锭炉加热组件，包括至少三个呈波浪形的加热片，所述加热片环形布置，所述加热片之间设有连接机构，相邻的加热片通过连接机构相连，所述连接机构包括两块分别与该连接机构两侧的加热片固接的连接板、位于连接板之间的调节板，所述调节板与其两侧的连接板滑动连接，所述加热片与连接板之间设有定位销，所述连接板上设有用于将连接板与对应的加热片夹紧的夹紧机构，所述夹紧机构包括两块夹板、位于夹板两端的用于将两块夹板拉紧的螺栓，所述连接板与加热片位于夹板之间。加热片与连接板之间通过定位销连接，不需要打孔，不降低加热片的发热量，从而保证较快的长晶速度；另外，可以调整调节板的位置，使得调节板与相邻的加热片通过连接板与调节板连接，实现相邻加热片的“波浪形”连接，从而使得加热组件对坩埚加热均匀，避免了加热组件角部温度的突变性；使得长晶界面在一个平面上。

作为优选，加热片包括若干水平直线向排布的上水平段、若干水平直线向排布的下水平段，所述上水平段所在的水平面高于下水平段所在的水平面，所述上水平段所在的直线与下水平段所在的直线平行，所述上水平段与下水平段在水平直线方向间隔布置，所述上水平段与下水平段之间设有竖向段，所述上水平段与下水平段之间通过竖向段首尾相连，所述上水平段的宽度、下水平段的宽度、竖向段的宽度相等，所述上水平段与竖向段圆弧过渡，所述下水平段与竖向段圆弧过渡。上水平段、下水平段、竖向段的宽度相等，使得温度均匀性更好。

作为优选，加热片的上水平段及竖向段均位于加热片两端的下水平段之间，所述连接板与下水平段之间设有定位销，所述连接板与下水平段位于夹板之间。下水平段作为连接机构的连接部件。

作为优选，连接板为L形结构，所述连接板包括水平连接板与竖向连接板，所述水平连接板与其对应的下水平段固接，所述竖向连接板自由端向上延伸，所述竖向连接板位于水平连接板远离加热片的一端，所述调节板滑动连接在竖向连接板上，所述竖向连接板的宽度与水平连接板的宽度相等，所述水平连接板的宽度等于下水平段的宽度。竖向连接板加热效果相当于竖向段，竖向连接板的宽度与水平连接板的宽度相等，水平连接板的宽度与下水平段的宽度，有利于保持温度的均匀性。