[实用新型]用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置

说明书

用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置，包括防爆管道、相配合地设在防爆管道顶部的防爆盖，防爆盖的上方设置相配合的防爆罩，防爆罩上均匀开设有若干定位孔，定位孔处分别设有贯穿的防脱落螺丝，防脱落螺丝固定防爆罩于防爆盖上方，使得大气流或热态挥发物瞬间冲出防爆盖后顺着防爆罩内壁向下泄压；防脱落螺丝表面的外螺纹为大螺纹和小螺纹间隔分布，防爆盖的下方在防爆管道内设置定位板，定位板上对应防脱落螺丝位置的通孔内表面设有与大螺纹相配合的内螺纹，定位板上其余位置为方便泄压的中空结构。本实用新型在突发情况时，防爆盖和防爆罩靠气流能够自行升起泄压，则防爆盖和防爆罩不会脱离开防爆管道而飞出伤人，达到瞬间准确安全泄压的目的。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉使用技术领域，特别涉及用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置。

背景技术

目前，单晶炉是单晶产品拉制过程的基础环节，也是半导体材料硅由多晶转换成单晶成品的关键设备。单晶炉的安全可靠运行，才能保证产品正常生产。而单晶炉的防爆安全泄压装置是单晶设备安全可靠运行必不可少的一部分。

然而，现有的单晶炉安全泄压设备，还存在一些不足：

一、采用螺钉定位，螺钉的结构较为常规，在此处使用时存在弊端，一旦单晶炉内压力超过常压时可能会由于螺栓上的螺纹卡住盖板，而不能顺利实现泄压的目的，存在一定的危险性；

二、有的使用泄压阀，长时间的使用会导致阀门位置偏离，不够准确，在大气流或热态挥发物瞬间冲出时不能做到瞬间紧急泄压，安全度不够；

三、现有的安全泄压装置，上方的泄压器件容易在超高压情况下被气流冲出，飞出伤人等。

单晶棒拉制过程使用的单晶炉CG6000设备，能够很好的满足单晶产品生产需求。设备的好坏和运行安全，是保证产品正常拉制的保障。单晶炉在正常运行过程中处于负压状态，防爆盖安全泄压装置处在单晶炉抽空管道居中位置上方，在设备出现突发情况时防爆盖能够首先自行打开，保证附近人员和设备及其他设备结构的完好状态，避免意外情况发生时人身和设备的安全。

因此，设计一种防爆盖安全泄压装置，是设备的一部分，更是安全生产的保障。结合实际需求和人身设备安全要素，设计制作单晶炉防爆盖的安全保护装置，保障生产正常进行。

实用新型内容

有鉴于此，为解决上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供了用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置，结构简单新颖，操作方便高效，突发情况时，防爆盖和防爆罩靠气流能够自行升起泄压，则防爆盖和防爆罩不会脱离开防爆管道而飞出伤人，达到了瞬间准确、快速、安全泄压的目的，满足设备运行过程人身和设备安全要求，实用性更强。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置，包括防爆管道、相配合地设在防爆管道顶部的防爆盖，所述防爆盖的上方设置相配合的防爆罩，气流通过防爆罩内延向下泄流，所述防爆罩上均匀开设有若干定位孔，定位孔处分别设有贯穿的防脱落螺丝，防脱落螺丝固定防爆罩于防爆盖上方，使得大气流或热态挥发物瞬间冲出防爆盖后顺着防爆罩内壁向下泄压；

所述防脱落螺丝表面的外螺纹为大螺纹和小螺纹间隔分布，所述防爆盖的下方在防爆管道内设置定位板，定位板上对应防脱落螺丝位置的通孔内表面设有与大螺纹相配合的内螺纹，定位板上其余位置为方便泄压的中空结构。

进一步的，所述防爆罩的罩口朝下，防爆罩罩口的内径大于防爆盖盖口的内径。

进一步的，所述防脱落螺丝为加长塞打螺丝。

进一步的，所述防脱落螺丝穿过防爆罩和防爆盖且拧紧在定位板的通孔内。

进一步的，所述定位孔、防脱落螺丝的个数均为4个。

进一步的，所述定位孔分别对称分布在防爆罩上表面上。