[实用新型]一种新型探针台有效
申请号: | 201921487046.5 | 申请日: | 2019-09-09 |
公开(公告)号: | CN210894445U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 梁建;罗雄科 | 申请(专利权)人: | 上海泽丰半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R31/28 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人: | 林柳燕 |
地址: | 200233 上海市徐*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 探针 | ||
1.一种新型探针台,其特征在于,包括:
用于安装探针的探针治具;
可替换安装不同尺寸的PCB的PCB治具;
用于带动所述探针治具沿三个不同方向做直线往复运动的致动机构,三个方向为一沿垂直于所述PCB的板面第一方向,以及平行于所述PCB的板面第二方向和第三方向,第二方向与第三方向呈角度设置;
所述PCB的一板面对应设置一个以上所述致动机构。
2.根据权利要求1所述的新型探针台,其特征在于:
所述PCB治具包括分设于所述PCB相对设置的两个侧壁的两个卡座,所述两个卡座包括第一卡座和第二卡座;以及用于安装所述卡座的支撑架;
所述第一卡座和所述第二卡座之间的间距可调,使得所述第一卡座和所述第二卡座之间可替换安装不同尺寸的PCB。
3.根据权利要求2所述的新型探针台,其特征在于:
所述第一卡座和所述第二卡座通过弹性件连接。
4.根据权利要求2所述的新型探针台,其特征在于:
所述第一卡座和所述第二卡座之间设有沿垂直于侧壁的方向延展的凹凸配合结构。
5.根据权利要求2所述的新型探针台,其特征在于:
一个以上所述卡座可沿所述支撑架做沿垂直于侧壁的方向做往复运动;
所述卡座与所述支撑架可拆卸式连接。
6.根据权利要求2-5任意一项所述的新型探针台,其特征在于:
每一所述卡座对应所述PCB设有卡槽,所述PCB相对设置的两个侧壁分别容设于所述第一卡座的卡槽和所述第二卡座的卡槽。
7.根据权利要求6所述的新型探针台,其特征在于:
所述卡槽的一个以上侧壁设有紧固孔,紧固件容设于所述紧固孔以抵设所述PCB的板面。
8.根据权利要求7所述的新型探针台,其特征在于:
所述紧固件靠近所述PCB一侧的端部设有柔性垫层;或,
所述紧固件为弹性件;或,
所述紧固件为刚性件;或,
所述卡槽的内侧壁设有柔性垫层。
9.根据权利要求1-5或7或8任意一项所述的新型探针台,其特征在于:所述探针治具包括安装板和用于与所述致动机构连接的安装座;
所述安装板设有两个以上用于挂载所述探针的螺柱。
10.根据权利要求9所述的新型探针台,其特征在于:
依次相邻设置的三个所述螺柱于所述安装板上的安装位不在同一直线上;和/或,
依次相邻设置的三个所述螺柱位为第一螺柱、第二螺柱和第三螺柱,所述第二螺柱设于所述第一螺柱和所述第三螺柱之间;所述第一螺柱和所述第二螺柱之间的间距为第一间距值;所述第二螺柱和所述第三螺柱之间的间距为第二间距值;所述第一间距值和所述第二间距值不相等;和/或,所述探针治具与所述致动机构可拆卸式连接。
11.根据权利要求1-5或7或8或10任意一项所述的新型探针台,其特征在于:
所述致动机构包括沿第一方向带动所述探针靠近或远离所述PCB的第一子致动机构,沿第二方向带动所述探针做往复运动的第二子致动机构,以及沿第三方向带动所述探针做往复运动的第三子致动机构;
所述第一子致动机构、所述第二子致动机构或所述第三子致动机构安装一所述探针治具。
12.根据权利要求11所述的新型探针台,其特征在于:
所述第一子致动机构、所述第二子致动机构和所述第三子致动机构均为丝杠副;
所述第二子致动机构安装于所述第一子致动机构的丝杠;
所述第三子致动机构安装于所述第二子致动机构的丝杠;
所述第一子致动机构和所述第二子致动机构之间设有凹凸配合结构;
所述第二子致动机构和所述第三子致动机构之间设有凹凸配合结构;
所述第一子致动机构、所述第二子致动机构和所述第三子致动机构均设有与丝杠连接的旋转手轮。
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