[实用新型]真空贴合的吸合稳固结构

权利要求书

1.真空贴合的吸合稳固结构，其特征在于，包括处于真空腔室内的治具板，所述治具板内设有内腔室；所述治具板上具有吸合面，所述吸合面上设置有静电吸片以及真空吸孔，所述真空吸孔与内腔室连通；所述治具板上设有多个连接管道，所述连接管道一端连通所述内腔室，另一端连通真空电磁阀，所述真空电磁阀与平衡管道连接，多个所述平衡管道连通所述真空腔室；当所述内腔室内的压力大于所述真空腔室内的压力时，所述真空电磁阀导通所述连接管道以及所述平衡管道，所述内腔室与所述真空腔室连通。

2.如权利要求1所述的真空贴合的吸合稳固结构，其特征在于，所述治具板上设有两个所述连接管道，两个所述连接管道与两个所述平衡管道分别通过所述真空电磁阀连接。

3.如权利要求2所述的真空贴合的吸合稳固结构，其特征在于，两个所述真空电磁阀处于所述治具板的同一侧。

4.如权利要求3所述的真空贴合的吸合稳固结构，其特征在于，两个所述平衡管道呈相向布置，且处于两个所述真空电磁阀之间。

5.如权利要求1-4任意一项所述的真空贴合的吸合稳固结构，其特征在于，所述真空电磁阀连接有真空管道，所述真空管道连通真空气泵；当所述真空电磁阀切换至导通所述连接管道以及所述真空管道时，启动真空气泵，对所述治具板的内腔室进行抽真空。

6.如权利要求5所述的真空贴合的吸合稳固结构，其特征在于，所述真空管道延伸至所述真空腔室的外部，所述真空气泵置于所述真空腔室的外部。

7.如权利要求6所述的真空贴合的吸合稳固结构，其特征在于，所述真空管道上设有负压电磁阀，所述负压电磁阀控制所述真空管道的通断。

8.如权利要求7所述的真空贴合的吸合稳固结构，其特征在于，所述负压电磁阀连接正压管道，所述正压管道连接有正压气泵；当所述负压电磁阀切换至导通所述真空管道以及所述正压管道，且所述真空电磁阀导通所述连接管道以及所述真空管道时，所述正压气泵与所述治具板的内腔室连通。

9.如权利要求8所述的真空贴合的吸合稳固结构，其特征在于，所述正压管道设有正压电磁阀，所述正压电磁阀控制所述正压管道的通断。

10.如权利要求6所述的真空贴合的吸合稳固结构，其特征在于，所述真空腔室的侧壁上具有连通孔，所述真空管道穿过所述连通孔延伸至所述真空腔室的外部，所述连通孔与所述真空管道之间呈密封布置。