[实用新型]一种真空环境下应用的三自由度直线电机平台

权利要求书

1.一种真空环境下应用的三自由度直线电机平台，包括高精度铝制底座(1)，其特征在于：所述高精度铝制底座(1)的上端面中心处横向安装有X轴直线电机模组(2)，所述X轴直线电机模组(2)和高精度铝制底座(1)固定连接，所述X轴直线电机模组(2)的动子固定连接有X轴铝制安装盖板(21)，所述X轴铝制安装盖板(21)上安装有Y轴直线电机模组(3)，所述Y轴直线电机模组(3)和X轴铝制安装盖板(21)固定连接，且Y轴直线电机模组(3)的动子固定连接有Y轴铝制安装盖板(31)，所述Y轴铝制安装盖板(31)的上端安装有直线电机安装机构(5)，所述直线电机安装机构(5)和Y轴铝制安装盖板(31)固定连接，且直线电机安装机构(5)的侧面安装有Z轴直线电机模组(4)，所述Z轴直线电机模组(4)和直线电机安装机构(5)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空环境下应用的三自由度直线电机平台，其特征在于，所述直线电机安装机构(5)包括电机支撑板(51)、加强板(52)和恒力磁弹簧(53)，所述电机支撑板(51)的形状安装为L型结构，且电机支撑板(51)的侧面对称安装有加强板(52)，所述加强板(52)和电机支撑板(51)固定连接，所述电机支撑板(51)的侧面对称安装有恒力磁弹簧(53)，所述恒力磁弹簧(53)和Y轴铝制安装盖板(31)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空环境下应用的三自由度直线电机平台，其特征在于，所述Y轴直线电机模组(3)和X轴直线电机模组(2)之间相互垂直。

4.根据权利要求3所述的一种真空环境下应用的三自由度直线电机平台，其特征在于，所述Z轴直线电机模组(4)的动子安装有Z轴安装盖板(41)，所述Z轴安装盖板(41)和Z轴直线电机模组(4)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种真空环境下应用的三自由度直线电机平台，其特征在于，所述直线电机平台所有零部件均能够真空环境中使用，所用油脂为真空润滑油脂。