[实用新型]一种电镜载物台

说明书

本实用新型涉及电镜检测领域，具体为一种电镜载物台。包括载物台，还包括可拆卸地立设于所述载物台上的导电架，所述导电架包括位于底部的用于连接载物台的连接部、位于顶部的向一侧延伸的搭电部以及位于连接部和搭电部之间的高度调节结构，所述连接部所述载物台上设有置样区，所述导电架为金属导电架。通过上述载物台和导电架的配合，将塑好形并镶嵌有细小钢丝的镶嵌块进行打磨到需要后置于载物台上后，再将插设在载物台上的导电架上的搭电部与钢丝接触，并通过高度调节结构保证搭电部始终与钢丝接触进行导电。从而在扫描电镜时可以有效安全地将试样表面积累的电荷导走，保证电镜检测的高效性和有效性。

技术领域

本发明涉及电镜检测领域，具体为一种电镜载物台。

背景技术

使用扫描电镜分析材料缺陷时，有时需要剖开缺陷处，对其研磨抛光，观察其缺陷形貌和组织情况。我司的一部分产品是线材，经过客户后续拉拔加工成规格更细小的钢丝，从直径5.0mm到直径0.7mm皆有。又由于试样较小，无法用手握住直接研磨，目前的方法是将试样进行镶嵌再研磨制样，即采用粉状镶嵌剂包围试样然后将粉状镶嵌剂熔化再固化成块状从而使得试样镶嵌固定在上面，再对试样和镶嵌块一起进行层层打磨到需要位置。然而镶嵌剂无法导电，照射到样品表面的电子传不走，试样表面电荷积累过多就会放放电。在二次电子图像上就会形成白色条带，影响试样形貌观察。

发明内容

本发明的目的是针对上述问题提供一种电镜载物台。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种电镜载物台，包括载物台，还包括可拆卸地立设于所述载物台上的导电架，所述导电架包括位于底部的用于连接载物台的连接部、位于顶部的向一侧延伸的搭电部以及位于连接部和搭电部之间的高度调节结构，所述载物台上设有置样区，所述导电架为金属导电架。

作为优选，所述载物台上开设有一个或均布有多个顶部敞口于所述载物台台面上的插孔、与所述插孔相通且敞口于所述载物台侧面上的锁位孔，所述连接部为插入所述插孔的插脚，所述锁位孔内设有伸入所锁位孔的前端可对所述插脚进行锁位的锁位件。

通过上述载物台和导电架的配合，将塑好形并镶嵌有细小钢丝的镶嵌块进行打磨到需要后置于载物台上后，再将插设在载物台上的导电架上的搭电部与钢丝接触，并通过高度调节结构保证搭电部始终与钢丝接触进行导电。从而在扫描电镜时可以有效安全地将试样表面积累的电荷导走，保证电镜检测的高效性和有效性。

锁位件可以是螺接于锁位孔内向孔内延伸顶住插脚的螺栓。

作为优选，所述导电架上位于所述插脚的顶部设有可架靠于所述载物台台面上的限位部。

作为优选，所述限位部为围设于插脚顶部的圆环或均布围设于插脚顶部的至少三片架片。

限位部的设置可提高导电架架设的稳定性，保证在工作或安装时的稳定、可控性。

作为优选，所述高度调节结构包括顶部敞口直立的套管和下端插入所述套管并可沿所述套管上下移动的升降杆，所述搭电部连接于所述升降杆上。

作为优选，所述套管与所述连接部为一体连接的至少上部具有管腔的立杆，所述升降杆与插入所述套管的部分上套设有复位弹簧。

通过上述高度调节结构可保证搭电头始终有效地与试样搭接导电。

作为优选，所述套管顶部设有套设于所述升降杆上的封口环，所述升降杆底端设有与所述套管管腔内壁适配的扩大的导向段。导向段即可以作为稳定的导向作用也可以增加升降杆与套管之间的接触面积，保证良好的导电效果。

作为优选，所述搭电部至少包括位于前端的底端面为水平面的搭电部。

作为优选，所述搭电部包括一端连接升降杆一端向前向下延伸的连杆部，所述搭电部连接于所述连杆部的前端，所述搭电部为扁平状的搭电头。