[实用新型]氦气回收净化装置

权利要求书

1.一种氦气回收净化装置，其特征在于，所述氦气回收净化装置包括依次设置于氦气回收净化管路上的第一循环风机、吸收系统、第一压缩机、干燥系统、膜分离系统、第二压缩机和低温吸附系统，所述第一循环风机用于将各工段排放的污氦气送入吸收系统，所述吸收系统用于对污氦气进行脱氯处理，所述第一压缩机用于将脱氯处理后的污氦气压缩并将其输送至干燥系统进行脱水处理，膜分离系统用于对脱水处理后的污氦气通过分离膜去除杂质气体的方式进行初步提纯，第二压缩机用于将初步提纯后的污氦气进一步压缩并将其输送至低温吸附系统对污氦气进行深度纯化处理。

2.根据权利要求1所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述吸收系统包括第一吸收塔和第一循环泵，所述第一吸收塔中盛装碱液，所述第一吸收塔包括设置于下端的进气口、循环出液口和设置于上端的出气口、循环进液口，第一循环风机的出气口连通第一吸收塔的进气口；所述第一循环泵连接所述第一吸收塔的循环进液口和循环出液口，用于将第一吸收塔下端的碱液输送到上端的喷淋装置。

3.根据权利要求2所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述氦气回收净化装置进一步包括第二循环风机，所述吸收系统包括第二吸收塔和第二循环泵，所述第二吸收塔中盛装碱液，所述第二吸收塔包括设置于下端的进气口、循环出液口和设置于上端出气口、循环进液口，所述第二循环风机连接所述第一吸收塔的出气口和所述第二吸收塔的进气口，用于为自所述第一吸收塔流出的污氦气进入第二吸收塔提供动力；所述第二循环泵连接所述第二吸收塔的循环进液口和循环出液口，用于将第二吸收塔下端的碱液输送到上端的喷淋装置。

4.根据权利要求2或3所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述第一吸收塔和第二吸收塔均还包括设置于上端的补液口和设置于下端的排液口，所述补液口用于补充新液，所述排液口用于排出氯含量大于预设阈值的碱液。

5.根据权利要求1所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述干燥系统包括冻干机、第一干燥器和第二干燥器，所述冻干机用于通过低温冷凝的方式将由所述第一压缩机输送的污氦气中的水蒸汽冷凝成液体冷凝水，所述第一干燥器和所述第二干燥器并联设置，用于进一步吸附冻干处理后的污氦气中的残留水分。

6.根据权利要求1所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述膜分离系统包括一级膜分离柱和二级膜分离柱，所述一级膜分离柱和二级膜分离柱均包括进气侧、渗透侧和尾气侧，所述一级膜分离柱的进气侧连接所述干燥系统、渗透侧连接所述第二压缩机的进气口，所述二级膜分离柱的进气侧连接所述一级膜分离柱的尾气侧，渗透侧连接至所述第一压缩机的进气口，尾气侧连接排空系统排空。

7.根据权利要求1所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述低温吸附系统包括并联设置的第一低温吸附器和第二低温吸附器。

8.根据权利要求1所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述氦气回收净化装置进一步包括第一滤油器，所述第一滤油器设置于所述第一压缩机和所述干燥系统之间。

9.根据权利要求1所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述氦气回收净化装置进一步包括第二滤油器，所述第二滤油器设置于所述第二压缩机和所述低温吸附系统之间。

10.根据权利要求1所述的氦气回收净化装置，其特征在于，所述氦气回收净化装置进一步包括控制系统，所述控制系统与所述第一循环风机、第二循环风机、吸收系统、第一压缩机、干燥系统、膜分离系统、第二压缩机和低温吸附系统分别连接。