[实用新型]用于光罩检测的辅助载板

权利要求书

1.一种用于光罩检测的辅助载板，所述辅助载板上开设有用于容置待检测光罩的容纳槽，其特征在于，所述容纳槽的内侧壁的预定位置朝容纳槽的中部延伸预定长度而形成有至少两根承载条，每根所述承载条上设置有至少两级自承载条的自由端向承载条的根部逐级升高的定位台阶，每一级定位台阶均包括一个承载面和两个相互正交且均垂直于所述承载面的定位面，分属于不同承载条上的同一级的定位台阶共同配合形成一个定位结构，同一个定位结构的各承载面位于同一平面上且各定位面分别对应位于一个长方体的四个侧面上，每一个定位结构的定位台阶的高度均小于或等于相适配尺寸规格的待检测光罩的厚度。

2.如权利要求1所述的用于光罩检测的辅助载板，其特征在于，所述容纳槽的内侧壁的四个分别对应为一个矩形四顶角的位置处沿所述矩形的对角线朝容纳槽的中部延伸预定长度而形成有四根承载条。

3.如权利要求1所述的用于光罩检测的辅助载板，其特征在于，所述容纳槽的内侧壁上的两个分别对应为一个矩形的一条对角线上的两顶角的位置处相向地朝容纳槽的中部延伸预定长度而形成有两根承载条。

4.如权利要求1-3任一项所述的用于光罩检测的辅助载板，其特征在于，每根承载条上的相邻两级定位台阶的定位面的间距大于或等于用于观察待检测光罩的显微镜的物镜镜筒的半径。

5.如权利要求1所述的用于光罩检测的辅助载板，其特征在于，所述容纳槽为贯穿所述辅助载板的通槽。

6.如权利要求1所述的用于光罩检测的辅助载板，其特征在于，所述容纳槽在每一级定位台阶组成的定位结构的外侧均具有便于取放待检测光罩的缺口。