[实用新型]一种激光式线位移传感器校准装置

权利要求书

1.一种激光式线位移传感器校准装置，其特征是：它包括台架(1)、台板(2)、精密滚珠丝杆组件(3)、伺服电机(4)、滑块安装板(5)、滑块基座(6)、弹性固定夹具(8)、门框干涉镜安装座(9)、弹性活动夹具(11)、组合滑台(12)、连接板(13)、下位机(16)、伺服控制器(17)、激光干涉仪、上位机(18)、传感器安装座(501)、3#延长连接板(502)、接收板(503)；所述台架(1)作为校准装置的支撑框架采用型材拼装而成，其下端安装有多个橡胶脚垫直接与地板或其它台面接触，中间设有储物空间用于安装下位机(16)和伺服控制器(17)，其上端固定安装有台板(2)；所述台板(2)的台面中心线上从左到右分别固定安装有所述组合滑台(12)、精密滚珠丝杆组件(3)和门框干涉镜安装座(9)；所述精密滚珠丝杆组件(3)上的滑块安装板(5)上固定安装着滑块基座(6)；所述传感器安装座(501)固定安装在组合滑台(12)上方的连接板(13)，传感器安装座(501)上安装有弹性活动夹具(11)，被校的激光式位移传感器(500)平放在传感器安装座(501)上并用定位销来定位，定位好后用弹性活动夹具(11)快速夹紧；3#延长连接板(502)一端用螺钉固定在滑块基座(6)上，另一端安装接收板(503)，精密滚珠丝杆组件(3)的滑块直线运动带动被校线位移传感器产生位移；所述激光干涉仪用于测量精密滚珠丝杆组件(3)上的滑块位移变化量，作为标准位移与被校的线位移传感器位移进行直接比较，从而生成该示值误差，该激光干涉仪的反射镜(7)采用弹性固定夹具(8)夹紧安装；所述组合滑台(12)可以实现行程≥±6.5mm的X轴、Y轴、水平Z轴以及360度旋转轴共四维方向的运动，通过调整该组合滑台(12)的四维位置可以实现激光干涉仪的光轴处在被校位移传感器测量轴的延长线上，以遵循阿贝原则，减少阿贝误差；所述伺服电机(4)通过联轴器与精密滚珠丝杆组件(3)的滚珠丝杆连接，通过所述伺服控制器(17)控制伺服电机(4)的运动情况；所述台架(1)的外侧还放置有所述上位机(18)，该上位机(18)通过数据线分别连接激光干涉仪和下位机(16)，下位机(16)与伺服控制器(17)保持通讯连接，该伺服控制器(17)与伺服电机(4)通过电子线连接；所述上位机(18)安装有校准软件，该校准软件能够根据用户的设置按照JJF 1305-2011线位移传感器校准规范的要求自动下达控制指令以控制被校线位移传感器产生的位移量，并采集激光干涉仪测量出的位移数据，实现闭环控制，被校线位移传感的位移与校准软件上的标准位移差即为该线位移传感器的误差；同理即可完成该线位移传感器的线性度、回程误差、重复性技术指标的校准。

2.如权利要求1所述激光式线位移传感器校准装置，其特征是：所述台板(2)为长方体结构，其厚度为10mm～20mm，平面度≤0.03mm，两个大面的平行度≤0.05mm。

3.如权利要求1所述激光式线位移传感器校准装置，其特征是：所述滑块基座(6)为“凸”字形结构，该滑块基座(6)还加工有与干涉镜孔同轴的定位通孔，在滑块基座(6)的三个平行平面上分别安装着反射镜(7)、弹性固定夹具(8)和3#延长连接板502。

4.如权利要求1所述激光式线位移传感器校准装置，其特征是：所述弹性活动夹具(11)由固定轴和弹性片组成，固定轴的下端是螺牙结构，上端为光轴，并在光轴部分开有通孔用于锁紧固定轴；弹性片由弹性钣金折弯而成，并加工有通孔用以套在固定轴上并可在光轴部位上下移动，当调整好弹性片的位置后拉起弹性片即可夹紧被夹物体。

5.如权利要求1所述激光式线位移传感器校准装置，其特征是：所述弹性固定夹具(8)由锁紧轴与弹性片套装而成，锁紧轴将整个弹性固定夹具(8)锁紧在滑块基座(6)上，弹性片由弹性钣金折弯而成并只能水平方向旋转，拉起弹性片即可夹紧被夹物体。