[实用新型]膜厚仪和检测设备

说明书

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种膜厚仪和检测设备。膜厚仪包括壳体、信息接受模块、信息处理模块和信息交互模块；壳体上设置有传感器接口；传感器接口与信息接受模块电连接，信息接受模块与信息处理模块电连接，信息处理模块与信息交互模块电连接；信息接受模块被配置为接受传感器的信号并传递给信息处理模块；信息处理模块被配置为处理信息接受模块输入信息处理模块的信号，并输出处理信号；信息交互模块被配置为向外部设备传递信息处理模块的处理信号，和/或接受外部设备的交互信号并传输至信息处理模块。其能够高效、快捷地完成多种情况下对薄膜厚度的测定，其交互效果好，经济效益出众。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种膜厚仪和检测设备。

背景技术

真空热蒸发镀膜技术被广泛应用于平板显示器的制造领域，该技术在相应薄膜器件产业化中的应用也十分广泛。

其中对固态薄膜的厚度的测定是非常重要的技术环节，现有技术常采用膜厚仪对膜厚进行检测。然而现有的膜厚仪功能单一、不能满足多种情况的测试要求。

实用新型内容

本实用新型的目的包括，例如，提供了一种膜厚仪和检测设备，其能够高效、快捷地完成多种情况下对薄膜厚度的测定，其交互效果好，经济效益出众。

本实用新型的实施例可以这样实现：

第一方面，本实用新型实施例提供一种膜厚仪，包括：壳体、信息接受模块、信息处理模块和信息交互模块；

壳体上设置有传感器接口；

传感器接口与信息接受模块电连接，信息接受模块与信息处理模块电连接，信息处理模块与信息交互模块电连接；信息接受模块被配置为接受传感器的信号并传递给信息处理模块；

信息处理模块被配置为处理信息接受模块输入信息处理模块的信号，并输出处理信号；信息交互模块被配置为向外部设备传递信息处理模块的处理信号，和/或接受外部设备的交互信号并传输至信息处理模块。

在可选的实施方式中，还包括第一电路板、第二电路板和第三电路板；

信息接受模块集成设置在第一电路板上，信息处理模块集成设置在第二电路板上，信息交互模块集成设置在第三电路板上。

在可选的实施方式中，壳体包括有第一面板和第二面板，第一面板和第二面板相对设置，且第一面板和第二面板共同围合形成容纳空间，第一电路板、第二电路板和第三电路板均设置在容纳空间中。

在可选的实施方式中，信息处理模块包括FPGA芯片和ARM芯片；

FPGA芯片被配置为进行计数；

ARM芯片被配置为通过FPGA芯片计数后的信息计算频率，并根据上述频率计算蒸镀速率和膜厚度。

在可选的实施方式中，壳体上设置有多个用于与外设连接的I/O接口；

I/O接口与信息交互模块连接。

在可选的实施方式中，壳体上设置有控制旋钮；

控制旋钮与信息处理模块连接。

在可选的实施方式中，还包括显示屏和显示电路板；

显示屏通过显示电路板与信息处理模块连接，显示电路板被配置为接收控制旋钮的调节位置的信息。

在可选的实施方式中，还包括电源和开关；

电源与信息处理模块连接；开关设置在第一面板或第二面板上，且电源通过开关与第二电路板连接。

在可选的实施方式中，还包括电压转换器；

电压转换器的一端与电源连接，另一端与第二电路板连接。