[实用新型]镀膜材料自动换料和加热汽化的装置

说明书

本实用新型公开了一种镀膜材料自动换料和加热汽化的装置，包含：药囊，内部装填有密封的镀膜材料；材料舱，在第一、第二与第三位置间定点移动；储压舱，具有加热舱室、导入孔与导出孔；装填和冷却单元，用以对第一位置的材料舱放置药囊或先进行冷却后再放置药囊；破口和夹取单元，用以对第二位置的材料舱内的药囊进行开封或取出；药囊加热单元，设置于第三位置附近，用以加热与储压舱密封的材料加热杯进行加热，使药囊内的镀膜材料蒸发为气体，并将气体导入至导入孔而进入加热舱室，再导入镀膜舱体；控制单元，分别电性耦接并控制各单元作动。

技术领域

本实用新型有关于一种镀膜材料加热汽化的装置，特别有关于一种将镀膜材料密封于一药罐内的镀膜材料自动换料和加热汽化的装置。

背景技术

目前应用到蒸镀装置上的镀膜材料等该型式的设备，都属于一次投性的放置镀膜材料，再投料生产的模式，所以需要以人工方式来做更换材料。然而，上述人工投料、上料的作业方式对镀膜物都是人员取出后，再用人摆放的模式做更换，一般如应用于半导体或是面板产业，会有人员接触污染制程等问题产生，且如上述采用人工模式的设备，在换镀膜材料时，因材料舱是在进行镀膜材料的蒸发作业，而材料舱的加热器是一体式设计，因此只能一起使用散热风扇散热降温，整个降温过程需要花费至少四十分钟以上，待材料舱降温后才能再添加镀膜材料，生产效率不佳。

另一方面，目前的设备设计，在镀膜材料的材料舱蒸发后即是进行裂解的功能，再后进入沉积舱进行沉积镀膜，其气体的输送未有稳流设计，因此会有相当程度地影响沉积镀膜作业的加工质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜材料自动放料、上料蒸发，并于蒸发后排料，再进行放料的镀膜材料自动换料和加热汽化的装置。

为达成所述镀膜材料自动换料和加热汽化的装置的目的，本实用新型提供一种镀膜材料自动换料和加热汽化的装置，包含：一药囊，包含一密封体，其内部装填有密封的镀膜材料；一材料舱，具有一用以盛接该药囊的材料加热杯，并以一机械输送单元运送该加热杯移动于一第一位置、一第二位置或一第三位置；一储压舱，具有一加热舱室、一设置于该加热舱室的低位置并与该加热舱室空间联通的导入孔与一设置于高于该导入孔位置并与该加热舱室空间联通的导出孔，该导出孔并以一管路连接于该镀膜舱体；一装填和冷却单元，用以对该第一位置的该材料加热杯放置一密封的药囊或先对该材料加热杯进行冷却后再放置该密封的药囊；一破口和夹取单元，用以对该第二位置的该材料加热杯内所承载的该密封的药囊进行开封或将蒸发完的药囊从该材料加热杯取出；一药囊加热单元，设置于该第三位置附近，用以对位于该第三位置并与该储压舱密封的该材料加热杯进行加热，使该材料加热杯的该药囊内的该镀膜材料在一密封空间内蒸发为气体，并将该气体导入至该储压舱的该导入孔，并进入该加热舱室；控制单元，分别电性耦接该机械输送单元、储压舱、该装填和冷却单元、该破口和夹取单元与该药囊加热单元，并控制该些单元的连动。

在一优选的实施例中，该药囊加热单元为单片式或多片式的加热体，并以可分离的方式接触该材料舱进行加热。

在一优选的实施例中，该药囊由可电镀的金属材质制成。

在一优选的实施例中，该装填和冷却单元包含一冷却机构，其在该第一位置的该材料加热杯的外围设置至少一喷嘴，并以喷气冷却该材料舱。

在一优选的实施例中，该装填和冷却单元包含一装填机构，其包含一填料匣，该填料匣具有一导引腔室、一转盘、一滑膛导轨，该导引腔室用以大量容置多个该些药囊，并以漏斗状的导引结构将该些药囊依序导引至一出口，该转盘设置于该出口处，用以将该出口的该药囊移转至该滑膛导轨，该滑膛导轨用以将该药囊导引至一所需的角度，并由一输出口限位输出，该输出口对应于移至该第一位置的该材料加热杯。

在一优选的实施例中，该储压舱的该导入孔内设置一鸭嘴状的过滤片。