[实用新型]石英管全自动化高洁净清洗装置

说明书

本实用新型揭示了一种石英管全自动化高洁净清洗装置，包括机架，所述机架上设有用以容置清洗液的清洗池和用以夹持石英管的夹持组件，所述夹持组件可由驱动组件驱动其相对所述清洗池上下移动；所述驱动组件上还固设有用以驱动所述夹持组件绕其枢轴点a转动的拉伸组件，以使所述石英管的中轴线与水平面之间形成夹角。本实用新型的有益效果主要体现在：设计精巧，该装置实现对石英管全自动化清洗，无需人工操作，杜绝人工操作产品的不可控制因素的影响，避免了对人体健康造成危害情况发生。

技术领域

本实用新型涉及清洗设备技术领域，具体而言，尤其涉及一种石英管全自动化高洁净清洗装置。

背景技术

石英制品以其优良的物理化学特性被广泛应用于集成电路芯片生产线。由于集成电路芯片的高规格要求，需要对所用的石英管进行严格的清洗。现有的石英管清洗设备人工操作繁琐，不能实现一体化全自动清洗功能，其清洗液一般采用人工配制和手动加入，而清洗液一般采用强酸和强碱配制成一定比例后使用，因此采用人工操作会对人体健康造成危害，且人工操作会有很多不可控制因素，人体的疲劳程度、观察角度和人员责任心都会影响清洗是否达到标准。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种石英管全自动化高洁净清洗装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种石英管全自动化高洁净清洗装置，包括机架，所述机架上设有用以容置清洗液的清洗池和用以夹持石英管的夹持组件，所述夹持组件可由驱动组件驱动其相对所述清洗池上下移动；所述驱动组件上还固设有用以驱动所述夹持组件绕其枢轴点a转动的拉伸组件，以使所述石英管的中轴线与水平面之间形成夹角。

优选的，所述夹持组件包括与驱动组件枢轴连接的支撑杆，所述支撑杆上固设有钩爪，所述钩爪的内表面呈与所述石英管的外圆周面相适配的内凹形状；所述支撑杆的两端还螺接有可相对移动的挡块，所述挡块呈三角状，且两个所述挡块之间的距离与所述石英管的长度相当。

优选的，所述支撑杆上还设有通过连接件与其枢轴连接的两个固定杆，其中一个所述固定杆与所述驱动组件固接，另一所述固定杆与所述拉伸组件固接。

优选的，所述连接件包括具有向下的两个平行的延伸臂，所述延伸臂通过插销与所述支撑杆枢轴连接，形成枢轴点a；所述延伸臂的上方为支撑面，所述支撑面的下表面与所述支撑杆之间存在间隙，所述支撑面的上表面与相应地所述固定杆固接。

优选的，所述驱动组件至少包括滑动设置在所述机架上的滑动架，所述滑动架上固设置有一驱动电机，所述驱动电机的电机轴上固设有一主动轮；所述机架上还枢轴设有一传动杆，所述传动杆上固设有一从动轮，所述主动轮和从动轮之间通过皮带传动；所述传动杆的两端均通过传动端与枢轴设置在所述机架上的第一传动丝杆传动连接，所述第一传动丝杆上设有与其为丝杆传动的第一传动螺母，每一所述第一传动螺母上均固设有一固定板，一个所述固定板与相应地的所述固定杆固接，另一所述固定板通过所述拉伸组件与相应地所述固定杆固接。

优选的，所述拉伸组件包括固设在相应所述固定板上的支撑架，所述支撑架上固设有一伺服电机，所述伺服电机的电机轴上固设有一第一齿轮；所述伺服电机的一侧设有一枢轴设置在所述支撑架上的第二传动丝杆，所述第二传动丝杆的底端设有与所述第一齿轮相啮合的第二齿轮；所述第二传动丝杆上还设有与其为丝杆传动的第二滑动螺母，所述第二滑动螺母上固设有滑动框，相应地所述固定杆固设在所述滑动框上。

优选的，所述支撑架上固设有位于所述固定杆两侧的支撑柱，所述滑动框通过直线轴承滑动设置在所述支撑柱上。

优选的，所述支撑架上还设有用以感应所述滑动框位置的传感器。

优选的，所述清洗池上枢轴设有一组旋转轴，所述旋转轴上固设有一组交错设置的转轮，所述转轮可与所述石英管的外圆周面紧贴。

本实用新型的有益效果主要体现在：