[实用新型]一种真空镀膜的过滤装置

权利要求书

1.一种真空镀膜的过滤装置，其包括：过滤器(3)和进气管道(2)，所述进气管道(2)的一端连接在镀膜机(1)上，另一端连接在过滤器(3)上；所述过滤器(3)通过进气管道(2)连接于车间内部，其特征在于：镀膜机(1)包括6个面，包括：镀膜机正面(11)、镀膜机背面(13)镀膜机顶面(14)、镀膜机底面(15)、第一镀膜机侧面(12)和第二镀膜机侧面(16)，只有镀膜机正面(11)位于车间内部，其余都位于车间外部。

2.如权利要求1所述的真空镀膜的过滤装置，其特征在于：进气管道(2)的一端连接在第一镀膜机侧面(12)的靠近镀膜机正面(11)的上角处的开孔处。

3.如权利要求1所述的真空镀膜的过滤装置，其特征在于：进气管道(2)为一个PVC塑料管，进气管道(2)一端通过过滤器(3)自由端接口的丝纹扭转连接。

4.如权利要求1所述的真空镀膜的过滤装置，其特征在于：电磁阀(6)安装在进气管道(2)与第一镀膜机侧面(12)连接处，电磁阀(6)内部有控制程序开关(7)。

5.如权利要求1所述的真空镀膜的过滤装置，其特征在于：过滤器(3)内包括一个过滤棉芯(4)。

6.如权利要求1所述的真空镀膜的过滤装置，其特征在于：净化车间的标准为万级净化标准装修，净化车间维持常年恒温恒湿状态。

7.如权利要求1所述的真空镀膜的过滤装置，其特征在于：在过滤器(3)进气孔的位置包一层无尘布(5)。