[实用新型]一种新型MASK框

说明书

本实用新型公开了一种新型MASK框，包括MASK框本体，其特征在于：所述MASK框本体相邻两侧边垂直设置，所述MASK框本体包括外层边框和内层边框，所述MASK框本体为分割型框，由若干单个部分框体组装而成，组装处留有应力槽，所述外层边框和内层边框之间采用组合拼接的方式，所述外层边框为钛材质，所述内层边框为铝合金材质。本实用新型的优点在于：设有应力槽来降低MASK框内应力，使得整体变形量降低，再生使用时更容易矫正；内层边框采用钛材质，可降低MASK框边缘消耗，同时外层边框仍采用铝合金材质，降低成本。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种新型MASK框。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空粒子镀等。其中真空溅射镀是用带电粒子轰击靶材，加速的离子轰击固体表面，使靶材原子从表面逸出飞向基板，沉积成薄膜。

在真空溅射镀膜过程中，会出现如下问题：1、靶材原子飞向基板沉积成薄膜时，同时靶材原子也会打在MASK框上，使MASK框产生压应力，改变MASK框的形状，常常多次使用后变需要更换。2、靶材原子沉积在MASK框上时，需要取出MASK进行清洗，通常酸洗过后，MASK框会消耗，尤其在MASK框边缘处易沉积，酸洗过后，MASK框边缘处会消耗较大，常需要更换，使用寿命降低，成本增加。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了一种新型MASK框，降低了MASK边缘处消耗，同时再生使用时更容易矫正MASK框。

本实用新型的上述目的通过以下的技术方案得以实现：一种新型MASK框，包括MASK框本体，所述MASK框本体相邻两侧边垂直设置，所述MASK框本体包括外层边框和内层边框，所述外层边框和内层边框之间采用组合拼接的方式，所述外层边框为钛材质，所述内层边框为铝合金材质。

进一步的，所述MASK框本体为分割型框，由若干单个部分框体组装而成，其中在组装处一侧的正梯形部分和另一侧的倒梯形部分拼接，形成方形结构。

进一步的，所述组装处留有应力槽。

进一步的，所述应力槽的槽宽介于4-6mm之间。

进一步的，所述应力槽的槽宽为6mm。

进一步的，其中一对平行设置的所述外层边框上设有方形缺口，方形缺口处设有安装条，安装条与外层边框相连，安装条两侧设有螺孔，可配合承重螺栓固定MASK框。

进一步的，所述安装条高度低于外层边框高度。

进一步的，所述内层边框下部设有内层边框支架，内层边框支架与内层边框垂直，内层边框支架上设有若干通孔，可配合带通分孔内六角低压头螺栓来固定基板。

本实用新型的有益效果是：1.通过应力槽来降低MASK框内应力，使得整体变形量降低，再生使用时更容易矫正；2内层边框采用钛材质，可降低MASK框边缘消耗，同时外层边框仍采用铝合金材质，降低成本。

附图说明：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的应力槽的示意图；

图3是本实用新型的方形缺口的示意图；

图4是本实用新型的局部放大图；

图中：1MASK框本体、2外层边框、3内层边框、4方形缺口、5内层边框支架、6应力槽、7正梯形部分、8倒梯形部分、9安装条、10螺孔、11通孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的描述。