[实用新型]石英管逐级清洗装置

说明书

本实用新型揭示了一种石英管逐级清洗装置，包括机架，所述机架上设有三个以上并列横置的清洗池和用以将石英管夹持的夹持组件，所述夹持组件可由驱动组件驱动其相对所述清洗池上下移动；所述机架上还设有用以将所述清洗池密封的封箱组件和用以驱动所述驱动组件前后水平滑动的滑动组件，所述滑动组件的移动方向与所述清洗池的中轴线垂直。本实用新型的有益效果主要体现在：设计精巧，该装置采用三个清洗池，可实现逐级清洗，在清洗过程中转轮带动石英管转动，从而进一步提高清洗液对石英管内壁的清洗能力，提高清洗合格率，另外，清洗液过程中不消耗清洗液，极大程度上降低了成本，提高清洗效率。

技术领域

本实用新型涉及清洗设备技术领域，具体而言，尤其涉及一种石英管逐级清洗装置。

背景技术

石英制品以其优良的物理化学特性被广泛应用于集成电路芯片生产线。由于集成电路芯片的高规格要求，需要对所用的石英管进行严格的清洗。现有的石英管清洗设备人工操作繁琐，不能实现一体化全自动清洗功能，其清洗液一般采用人工配制和手动加入，而清洗液一般采用强酸和强碱配制成一定比例后使用，因此采用人工操作会对人体健康造成危害，且人工操作会有很多不可控制因素，人体的疲劳程度、观察角度和人员责任心都会影响清洗是否达到标准。

中国专利CN201520127766.6揭示的一种石英管清洗机减少了对操作人员的依赖。但是这种清洗机只有一个清洗腔，所有清洗都在该清洗腔中完成，为了彻底清洁石英管，需要反复进行清洗操作，但由于该清洗机只有一个清洗腔，一次清洗后需要将其中的液体排出，这样对于清洗液的消耗量大大增加；其次，液体通过喷头喷洒进入清洗腔中，液体注入其中其所需时间较长，且石英管在清洗腔中静止，要完成对其内外壁的清洗所述时长也就相对增加，故整体清洗操作很耗时，效率很低。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种石英管逐级清洗装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种石英管逐级清洗装置，包括机架，所述机架上设有三个以上并列横置的清洗池和用以将石英管夹持的夹持组件，所述夹持组件可由驱动组件驱动其相对所述清洗池上下移动；所述机架上还设有用以将所述清洗池密封的封箱组件和用以驱动所述驱动组件前后水平滑动的滑动组件，所述滑动组件的移动方向与所述清洗池的中轴线垂直。

优选的，所述夹持组件包括与驱动组件枢轴连接的支撑杆，所述支撑杆上固设有钩爪，所述钩爪的内表面呈与所述石英管的外圆周面相适配的内凹形状；所述支撑杆上还设有两个固定杆。

优选的，所述驱动组件至少包括滑动设置在所述机架上的滑动架，所述滑动架上固设置有一驱动电机，所述驱动电机的电机轴上固设有一主动轮；所述机架上还枢轴设有一传动杆，所述传动杆上固设有一从动轮，所述主动轮和从动轮之间通过皮带传动；所述传动杆的两端均通过传动端与枢轴设置在所述机架上的第一传动丝杆传动连接，所述第一传动丝杆上设有与其为丝杆传动的第一传动螺母，每一所述第一传动螺母上均固设有一固定板，一个所述固定板与相应地的所述固定杆固接，另一所述固定板通过所述拉伸组件与相应地所述固定杆固接。

优选的，所述滑动组件包括固设在所述滑动架上的滑动电机和枢轴设置在所述滑动架上的连接杆，所述滑动电机的电机轴上固设有一第三齿轮，所述连接杆上固设有一与所述第三齿轮相啮合的第四齿轮；所述连接杆上还固设有第五齿轮，所述第五齿轮与固设在所述机架上的齿条相啮合，所述齿条的长度与所述清洗池的宽度之和相当。

优选的，所述封箱组件包括固定在所述清洗池两端的固定块，所述固定块上枢轴设置有位于所述清洗池一侧的转动轴，所述转动轴上固设有与所述清洗池开口相匹配的盖板；所述转动轴的一端贯穿所述固定块延伸置于其外部，且延伸置于所述固定块外侧的转动轴上固设有一L形连接板，所述连接板上枢轴设有一挡头，所述挡头与固设在所述机架上的驱动气缸的气缸轴固接。