[实用新型]全自动化石英管清洗装置

说明书

本实用新型揭示了一种全自动化石英管清洗装置，包括箱体以及设置在所述箱体内用以承载倒扣放置的石英管的承载机构，所述承载机构的圆心设有一开口；所述开口下放置有喷头，可面向所述石英管的内壁进行喷淋；所述箱体上还设有驱动所述承载机构绕所述喷头转动的驱动组件和用以控制所述承载机构旋转圈数的控制组件。本实用新型的有益效果体现在：清洗操作简单，只需将石英管倒扣在承载板上，喷头对准石英管内部清洗，喷嘴可以清洗石英管外壁及石英管上的死角；自动化设计，在齿轮上设置有传感器，可有其记录石英管在清洗时的旋转圈数，在圈数达到限定数量时停止清洗。

技术领域

本实用新型涉及清洗设备技术领域，具体而言，尤其涉及一种全自动化石英管清洗装置。

背景技术

石英制品以其优良的物理化学特性被广泛应用于集成电路芯片生产线。由于集成电路芯片的高规格要求，需要对所用的石英管进行严格的清洗。现有的全自动化石英管清洗装置人工操作繁琐，不能实现一体化全自动清洗功能，其清洗液一般采用人工配制和手动加入，而清洗液一般采用强酸和强碱配制成一定比例后使用，因此采用人工操作会对人体健康造成危害，且人工操作会有很多不可控制因素，人体的疲劳程度、观察角度和人员责任心都会影响清洗液的配比是否达到标准。

中国专利CN201520127766.6揭示的一种石英管清洗机减少了对操作人员的依赖同时保护了人体安全提好了配液准确度。但是该技术在清洗石英管开口端朝上放置清洗内壁后，钟罩内部的清洗液无法自动排出，需要将石英管拿出将其倒扣，再清洗其外壁，清洗操作复杂；其次，该技术中只有一个喷头，对石英管上的死角无法清理。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种全自动化石英管清洗装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种全自动化石英管清洗装置，包括箱体以及设置在所述箱体内用以承载倒扣放置的石英管的承载机构，所述承载机构的圆心设有一开口；所述开口下放置有喷头，可面向所述石英管的内壁进行喷淋；所述箱体上还设有驱动所述承载机构绕所述喷头转动的驱动组件和用以控制所述承载机构旋转圈数的控制组件。

优选的，所述驱动组件包括设置在所述箱体内的L形的固定板，所述固定板上固设有一驱动电机，所述驱动电机的电机轴通过联轴器与转轴固接，所述转轴上固设有一第一主动齿轮；所述箱体上还设有一固定块，所述固定块上设有一可自转地旋转柱，所述旋转柱上固设有一第一从动齿轮，所述第一从动齿轮和第一主动齿轮之间通过链条连接；所述承载机构固接在所述旋转柱上。

优选的，所述控制组件包括固设在所述固设在所述转轴上的第二主动齿轮，所述固定板上固设有一第二从动齿轮，所述第二从动齿轮和所述第二主动齿轮相啮合；所述第二从动齿轮上还固设有一卡片，所述固定板上固设有一支撑块，所述支撑块上固设有一位移传感器，部分所述卡片可延伸至设置在所述位移传感器上的测量口内。

优选的，所述箱体上还设有支撑柱，所述支撑柱上枢轴设有一张紧齿轮，所述张紧齿轮与所述链条紧贴。

优选的，所述承载机构包括固设在所述旋转柱上的承载板，所述承载板上开设有一组用以排除清洗液的排水口和用以对所述石英管死角进行喷淋清洗的喷嘴，所述喷嘴由阀门控制。

优选的，所述承载板上还设有用以将所述石英管限位的限位块和限位条。

优选的，所述箱体上还固设有一微型电机，所述微型电机的电机轴贯穿固设在箱体的挡板与呈十字形的锁止爪固接，所述锁止爪与所述移动门的内壁紧贴；所述挡板与所述微型电机的电机轴之间通过旋转轴承连接。

优选的，所述微型电机的电机轴上还固设有一转盘，所述转盘上固设有一红外线发射器，所述挡板上固设有用以接受所述红外线发射器发射出的信号的红外线接收器。

优选的，所述移动门上还设有把手。