[实用新型]真空显影装置

权利要求书

1.一种真空显影装置，包括具有内腔的显影箱体(1)，所述的显影箱体(1)内设有用于放置具有上板面(61)和下板面(62)的板体(6)的水平输送机构(11)，所述的水平输送机构(11)上方和/或下方分别依次设有若干喷管(12)，所述的喷管(12)一侧分别具有若干朝向板体(6)的上板面(61)和/或下板面(62)的喷嘴(121)，其特征在于，所述的水平输送机构(11)上方和/或下方固定或可活动地设有风刀组件(13)，所述的风刀组件(13)具有朝向板体(6)的上板面(61)或下板面(62)的风口(131)，且各个风刀组件(13)均与一个设置在显影箱体(1)上端的第一级水汽分离装置(2)相连，且所述的第一级水汽分离装置(2)通过第二级水汽分离装置(3)和抽风机(4)相连，且所述的第一级水汽分离装置(2)和第二级水汽分离装置(3)中至少一个为多层分离装置。

2.根据权利要求1所述真空显影装置，其特征在于，所述的第一级水汽分离装置(2)为多层分离装置，且第一级水汽分离装置(2)包括设置在显影箱体(1)上端且具有分离腔(21)的水汽分离箱体(22)，所述的显影箱体(1)分别通过连通组件(5)和风刀组件(13)与第二级水汽分离装置(3)相连，所述的水汽分离箱体(22)内设有能将分离腔(21)分隔呈上下对应设置的上腔体(211)和下腔体(212)的分隔/连通结构(23)，在上腔体(211)内设有水汽分离组件(2111)，且所述的下腔体(212)通过第一阀体(2121)与显影箱体(1)的内腔相连通，在显影箱体(1)下端一侧设有第二阀体(2122)，且所述的第二阀体(2122)一端与下腔体(212)相连通，另一端连接有外部空气。

3.根据权利要求2所述真空显影装置，其特征在于，所述的分隔/连通结构(23)包括设置在水汽分离箱体(22)的分隔板(231)，且所述的上腔体(211)位于分隔板(231)上方，下腔体(212)位于分隔板(231)下方，且所述的分隔板(231)上设有用于连通或阻断上腔体(211)和下腔体(212)的第三阀体(2311)。

4.根据权利要求2所述真空显影装置，其特征在于，所述的水汽分离组件(2111)包括若干自上向下依次分别在上腔体(211)内的分离板(2112)，所述的分离板(2112)相互平行设置且分离板(2112)上具有若干过滤孔，且相邻两个分离板(2112)之间填充有若干过滤小球。

5.根据权利要求2或3或4所述真空显影装置，其特征在于，所述的连通组件(5)包括设置在水汽分离箱体(22)一侧且与上腔体(211)或下腔体(212)相连通的水汽进口(51)，且所述的水汽进口(51)通过水汽连接管(52)和各个风刀组件(13)相连通，所述的水汽分离箱体(22)上端设有与上腔体(211)相连通的气体出口(53)，且所述的气体出口(53)通过第一气体连接管(521)和第二级水汽分离装置(3)的进气口(31)相连，所述的第二级水汽分离装置(3)的出气口(32)通过第二气体连接管(522)和抽风机(4)的进风口(41)相连，所述的抽风机(4)上设有出风口(42)。

6.根据权利要求5所述真空显影装置，其特征在于，所述的风刀组件(13)包括呈扁平长条状且具有水汽腔(133)的风刀座(132)，所述的风刀座(132)上侧设有沿风刀座(132)轴向延伸设置且与水汽腔(133)相连通的水汽吸嘴(134)，所述的水汽吸嘴(134)呈扁平状且所述的水汽吸嘴(134)靠近风刀座(132)一侧的宽度至另一端的宽度逐渐变小，且所述的风口(131)轴向形成于水汽吸嘴(134)远离风刀座(132)的一侧，所述的风刀座(132)至少一端设有与水汽腔(133)相连通且与水汽连接管(52)相连的连接管(135)。

7.根据权利要求6所述真空显影装置，其特征在于，所述的风刀座(132)的横截面呈矩形，且所述的风刀座(132)通过可拆式结构(14)与水平输送机构(11)相连。