[实用新型]一种去除超高纯正硅酸乙酯钢瓶中固体颗粒的装置

权利要求书

1.一种去除超高纯正硅酸乙酯钢瓶中固体颗粒的装置，其特征在于，包括：

第一过滤器、第二过滤器、高纯氮气钢瓶、超高纯正硅酸乙酯钢瓶、第一待处理钢瓶、第二待处理钢瓶与真空泵；

所述超高纯正硅酸乙酯钢瓶中设置有超高纯正硅酸乙酯；

所述第一待处理钢瓶包括气相阀门与液相阀门；所述第二待处理钢瓶包括气相阀门与液相阀门；

所述超高纯正硅酸乙酯钢瓶与第一待处理钢瓶的液相阀门相连通；

所述第一待处理钢瓶与第二待处理钢瓶通过第一过滤器及第二过滤器相连通；所述第一过滤器与第二过滤器为并联；

所述高纯氮气钢瓶与第一待处理钢瓶的气体阀门及第二待处理钢瓶的气体阀门相连通；

所述真空泵与第一待处理钢瓶的气体阀门及第二待处理钢瓶的气体阀门相连通。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括尾气吸附柱；所述尾气吸附柱与所述真空泵相连通。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括第三过滤器；所述高纯氮气钢瓶通过第三过滤器与第一待处理钢瓶的气体阀门及第二待处理钢瓶的气体阀门相连通。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括调压阀；所述高纯氮气钢瓶通过调压阀与第三过滤器相连通。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括第一单向阀与第二单向阀；所述第一待处理钢瓶的气体阀门通过第一单向阀与真空泵相连通；所述第二待处理钢瓶的气体阀门通过第二单向阀与真空泵相连通。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一待处理钢瓶内设置有液体管路；所述液体管路一端与液体阀门相连通，另一端开口位于第一待处理钢瓶的底部。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二待处理钢瓶内设置有液体管路；所述液体管路一端与液体阀门相连通，另一端开口位于第二待处理钢瓶的底部。