[实用新型]一种真空腔室填充装置

说明书

本实用新型公开一种真空腔室填充装置，属于磁控溅射镀膜玻璃生产线用装备的技术领域，包括：底板，底板上设有至少两填充组件和一辊子，两填充组件分别与底板固定连接，两填充组件之间形成有容置凹槽，辊子转动设于容置凹槽内，辊子的上侧伸出容置凹槽；每一填充组件均包括：两第一填充块，两第一填充块分别与底板固定连接；一第二填充块，第二填充块的下侧夹设于两第一填充块之间，第二填充块的上侧的两端分别位于两第一填充块上；位于一填充组件的一端与另一填充组件靠近该一填充组件的一端之间形成容置凹槽。本实用新型加工简单、成本低、填充效果好、无焊缝开裂内漏风险、方便维护。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜玻璃生产线用装备的技术领域，尤其涉及一种真空腔室填充装置。

背景技术

真空磁控溅射镀膜方法在玻璃镀膜领域应用广泛，如最近几年发展迅速的低辐射镀膜玻璃(Low-E)和CIGS薄膜太阳能电池技术，其核心装备都是应用真空磁控溅射方法在玻璃上镀上若干层功能薄膜，使其具有特定的光热特性。

机械节拍是磁控溅射镀膜玻璃生产线产能高低的重要影响因素。一般一个机械节拍包括很多动作，比如进口腔室破空、门阀打开、玻璃传输、门阀关闭、进口室抽真空等等。为了提高产能，降低单位成本，加快机械节拍就成了关键手段。经过分析可以得出，抽真空的时间占到整个机械节拍的50％左右，所以降低抽真空的时间就成了关键手段。增加真空泵设备的投资、减少腔室容积是降低抽真空时间最重要的两个方法。其中在真空腔室内增加填充物是减少真空腔室容积的一贯做法。

镀膜玻璃生产线是采用用辊子进行传输玻璃，辊子之间具有很大的空间，为减少真空腔室容积，通常在辊子之间设置填充装置。以往的真空腔室填充装置采用矩形钢管的结构，具有如下缺点：

1、焊接量大，导致焊接变形太大，加工困难；

2、受到矩形钢管规格的影响，往往不能最大限度的进行填充，影响填充效果；

3、在使用过程中，填充装置不断受到交变载荷的影响，焊缝处容易开裂，产生内漏，导致抽真空时间明显变长；

4、碎玻璃较难清理，不利于设备维护。

发明内容

针对现有的真空腔室填充装置存在的上述问题，现旨在提供一种真空腔室填充装置，具有加工简单、成本低、填充效果好、无焊缝开裂内漏风险、方便维护等优点。

具体技术方案如下：

一种真空腔室填充装置，包括：底板，所述底板上设有至少两填充组件和一辊子，两所述填充组件分别与所述底板固定连接，两所述填充组件之间形成有容置凹槽，所述辊子转动设于所述容置凹槽内，所述辊子的上侧伸出所述容置凹槽；

每一所述填充组件均包括：

两第一填充块，两所述第一填充块分别与所述底板固定连接，每一所述第一填充块远离另一所述第一填充块的一端的上侧设有第一弧形凹槽；

一第二填充块，所述第二填充块的下侧夹设于两所述第一填充块之间，所述第二填充块的上侧的两端分别位于两所述第一填充块上，所述第二填充块的两端均设有第二弧形凹槽；

位于一所述填充组件的一端的所述第一弧形凹槽和所述第二弧形凹槽与另一所述填充组件靠近该一所述填充组件的一端的所述第一弧形凹槽和所述第二弧形凹槽形成所述容置凹槽。

上述的真空腔室填充装置，其中，两所述第一填充块之间形成安装空间，所述第二填充块的下侧的中部设于所述安装空间内，

上述的真空腔室填充装置，其中，所述容置凹槽的表面呈圆弧形设置。

上述的真空腔室填充装置，其中，所述容置凹槽的直径大于所述辊子的直径。