[实用新型]一种可变波长标准球面镜头

说明书

本实用新型提供了一种可变波长标准球面镜头，属于光学镜头领域，具有这样的特征，包括：镜头主体，具有第一镜筒和设置在第一镜筒内的第一透镜组；以及移动单元，包括套设在第一镜筒上的第二镜筒以及设置在该第二镜筒内的补偿透镜组，其中，第一透镜组和补偿透镜组互相平行，且光轴重合，第二镜筒与第一镜筒螺纹连接，通过旋转第二镜筒来调节补偿透镜组与第一透镜组之间的距离，第一镜筒上还设置有用于指示补偿透镜组与第一透镜组之间的距离的指示单元。

技术领域

本实用新型涉光学镜头领域，具体涉及一种可变波长标准球面镜头。

背景技术

不同的光学系统需要根据要求在特定波段设计，干涉仪可以对光学系统的波像差，系统整体成像质量进行检测，这个过程是系统最终调整和质量检验的关键。

激光干涉仪的工作波长主要为单一波长，而光学系统的应用非常广泛且多变，如光刻系统、DVD和红外成像系统等都需要特定波长进行检测，以显示其所需要的波长变化的要求，因此干涉仪公司根据不同的波长制造特定的干涉仪。现有的产品包括405nm、543.5nm、632.8nm、1053nm和1064nm等干涉仪。

标准球面镜头根据波长设计，标准镜头的性能指标很高，且需要保证参考面的球心与标准镜头的焦点重合，当改变使用波长时，由于镜头的焦点发生变化，导致标准镜头无法使用，因此标准球面镜头只能在其设计波长下使用。每种特殊波长激光干涉仪都需要额外配置相应的标准球面镜头，而标准球面镜头中的用于作为参考表面的透镜，由于需要使用高档材料且面形加工精度高，所以造价昂贵。

为了解决上述问题，2017年台湾学者基于消色差原理设计了可在两个波长下使用的标准球面镜头(“Design,tolerance analysis,fabrication,and testing of a 6-in.dual-wavelength transmission sphere for a Fizeau interferometer”,Wei-JeiPeng等,Optical Engineering.56(3),2017,035015-1～035015-11)，基本原理是利用消色差系统的色焦移曲线具有一个拐点特点，在某一位置可以使两个波长同时聚焦，因此该标准球面镜头可同时在常规激光干涉仪和近紫外干涉仪上使用(365nm和632.8nm)。

然而，上述方法设计的标准球面镜头仍然只能工作在这两个特定波长下，无法在更多波长下的使用。

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种用于干涉仪的可变波长标准球面镜头。

本实用新型提供了一种可变波长标准球面镜头，具有这样的特征，包括：镜头主体，具有第一镜筒和设置在第一镜筒内的第一透镜组；以及移动单元，包括套设在第一镜筒上的第二镜筒以及设置在该第二镜筒内的补偿透镜组，其中，第一透镜组和补偿透镜组互相平行，且光轴重合，第二镜筒与第一镜筒螺纹连接，通过旋转第二镜筒来调节补偿透镜组与第一透镜组之间的距离，第一镜筒上还设置有用于指示补偿透镜组与第一透镜组之间的距离的指示单元。

在本实用新型提供的可变波长标准球面镜头中，还可以具有这样的特征：其中，指示单元包括平行于光轴的指示线以及垂直设置于该指示线上的至少两个刻度线，当第二镜筒的靠近第一镜筒的端部与一个刻度线重合时，补偿透镜组与第一透镜组之间的距离为相重合的刻度线所指示的距离。

在本实用新型提供的可变波长标准球面镜头中，还可以具有这样的特征：其中，指示线上依次设置有A刻度线、B刻度线、C刻度线、D刻度线以及E刻度线，A刻度线最靠近第二镜筒的远离第一镜筒的端部，A刻度线指示补偿透镜组与第一透镜组之间的距离为6.41mm，B刻度线指示补偿透镜组与第一透镜组之间的距离为5.4mm，C刻度线指示补偿透镜组与第一透镜组之间的距离为6.41mm，D刻度线指示补偿透镜组与第一透镜组之间的距离为5.4mm，E刻度线指示补偿透镜组与第一透镜组之间的距离为6.41mm。