[实用新型]一种排湿装置、空调设备及光刻机有效
| 申请号： | 201921423086.3 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN210441340U | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 吴天祺;陆捷 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F24F1/0083 | 分类号： | F24F1/0083;F24F13/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 装置 空调设备 光刻 | ||
1.一种排湿装置，用于空调设备，其特征在于，所述排湿装置可拆卸设置于所述空调设备的进风口，所述排湿装置控制进入所述空调设备的空气的第一湿度。
2.根据权利要求1所述的排湿装置，其特征在于，当所述排湿装置设置于所述空调设备的进风口时，所述排湿装置处于工作状态。
3.根据权利要求1所述的排湿装置，其特征在于，所述空调设备包括湿度控制装置，所述排湿装置与所述湿度控制装置配合用于控制所述空调设备排出的空气的第二湿度。
4.根据权利要求3所述的排湿装置，其特征在于，当所述空调设备工作时，所述湿度控制装置处于工作状态；当所述空调设备闲置时，所述湿度控制装置处于闲置状态；
当所述空调设备将要关闭至下次开启之前，所述排湿装置处于工作状态。
5.根据权利要求4所述的排湿装置，其特征在于，当所述空调设备将要关闭时，移除所述空调设备的风管，将所述排湿装置设置于所空调设备的进风口，所述排湿装置处于工作状态，直至下次开启所述空调设备；
当所述空调设备将要开启时，移除所述排湿装置，将所述风管安装至所述空调设备的进风口。
6.根据权利要求1-5任一项所述的排湿装置，其特征在于，所述排湿装置包括干燥剂。
7.一种空调设备，用于光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的排湿装置。
8.根据权利要求7所述的空调设备，其特征在于，所述空调设备用于控制从所述空调设备进入所述光刻机腔体的空气的湿度。
9.根据权利要求7所述的空调设备，其特征在于，还包括温度控制装置，所述温度控制装置用于控制从所述空调设备进入所述光刻机腔体的空气的温度。
10.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求7-9任一项所述的空调设备。
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