[实用新型]一种空心阴极离子镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种空心阴极离子镀膜机，涉及离子镀膜领域，其技术方案要点是包括机体、设置于机体内的腔室、以及安装于腔室底壁的多个承接凸柱，承接凸柱上套接有置料架，置料架的顶部设置有置料通孔；还包括用于勾取和提举置料架的接挂装置、以及用于对接挂装置进行支撑和转动的转运装置，转运装置安装于机体上；接挂装置包括顶端与转运装置相连的连杆、固定安装于连杆的接挂气缸、固定于接挂气缸的接挂电机、以及与接挂电机的转轴相连的接挂盘，接挂盘的设置有多个水平挂钩，接挂电机驱动接挂盘转动以使水平挂钩伸入或伸出置料通孔，接挂气缸通过活塞杆的伸缩以将接挂盘抬高或降低。技术效果是通过自动化操作取出置料架，避免人们烫伤。

技术领域

本实用新型涉及离子镀膜领域，特别涉及一种空心阴极离子镀膜机。

背景技术

目前，常用的空心阴极离子镀膜机配备多支空心阴极枪,它利用钽管管内辉光放电的空心阴极效应,导致钽管升温至白炽状态强烈发射电子,形成弧光放电，产生高密度的等离子体电子流,引向干锅使镀料蒸发、汽化、电离、或通过反应气体反应而在工件上沉积成膜。

参考图1，现有的空心阴极离子镀膜机包括带有内腔的机体、安装于内腔底部的承接凸柱、以及套接在承接凸柱上的置料架，所述置料架上设有通孔。在空心阴极离子镀膜机工作完毕后，由于空心阴极效应导致镀膜机腔室的温度急剧上升，需要人们爬上机体并手动使用挂钩伸入内腔中勾住置料架，从而将置料架提出内腔，这过程十分不便且有烫伤的危险。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种空心阴极离子镀膜机，其通过自动化上料和下料，避免人们被烫伤，且节约人力。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种空心阴极离子镀膜机，包括机体、设置于机体内的腔室、以及垂直安装于腔室底壁的多个承接凸柱，所述承接凸柱呈均匀圆周排布，所述承接凸柱上套接有置料架，所述置料架的顶部水平设置有置料通孔；

还包括用于勾取和提举置料架的接挂装置、以及用于对接挂装置进行支撑和转动的转运装置，所述转运装置安装于机体上；所述接挂装置包括顶端与转运装置相连并由转运装置驱动水平旋转的连杆、固定安装于连杆远离转运装置一端的接挂气缸、固定于接挂气缸的活塞杆的接挂电机、以及与接挂电机的转轴相连并由接挂电机驱动以水平旋转的接挂盘，所述接挂盘的底部设置有多个与置料通孔相对应的水平挂钩，所述接挂电机驱动接挂盘转动以使水平挂钩伸入或伸出置料通孔，所述接挂气缸通过活塞杆的伸缩以将接挂盘抬高或降低。

通过采用上述技术方案，镀膜机工作完毕后，接挂盘由接挂气缸驱动向下移动，直至接挂盘上的水平挂钩与置料通孔水平。安装于接挂气缸下的接挂电机再驱动接挂盘进行转动，直至水平挂钩穿入置料通孔时，接挂盘停止转动。此时接挂气缸控制接挂电机和接挂盘向上运动，使得置料架与承接凸柱相脱离，再由转运装置带动连杆转动，将置料架运离腔室上方。全过程均由机器控制，实现自动化上料和下料而无需人们手动操作，从而避免了下料或上料时人们被烫伤的危险，同时节约人力，适合大规模生产。

进一步设置：所述转运装置包括固定于机体上的转运电机，所述转运电机的转轴朝上且固定连接有支撑杆，所述支撑杆远离转运电机的一端与连杆固定连接。

通过采用上述技术方案，转运电机的转轴与支撑杆固定连接，从而控制支撑杆绕转轴旋转。连杆与转运电机相连，在连杆的带动下围绕转运电机的转轴做圆周运动。

进一步设置：所述水平挂钩围绕接挂盘的轴线呈圆周均匀分布，且水平挂钩包括与接挂盘相连的纵杆以及连于纵杆远离接挂盘一端的横勾，所述横勾均沿接挂盘的转动方向水平设置，所述接挂盘通过转动以使横勾伸入或伸出置料通孔。

通过采用上述技术方案，横勾呈水平设置，当其在接挂电机的驱动下在水平面上转动时，能够方便地从置料通孔穿入，避免了当横勾不在水平面上时，水平挂钩转动将会与置料通孔的侧壁相抵接而无法进入置料通孔的情况。