[实用新型]一种单晶炉热场冷却装置有效
| 申请号: | 201921411027.4 | 申请日: | 2019-08-28 |
| 公开(公告)号: | CN210657215U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
| 发明(设计)人: | 文勇;孟涛;王海庆;姚亮 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 石艳红 |
| 地址: | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉热场 冷却 装置 | ||
本实用新型公开了一种单晶炉热场冷却装置,包括横向保温支撑环和至少两个冷却升降装置,每个冷却升降装置均包括托板、支撑连杆、波纹软管和升降底座;横向保温支撑环设在中部碳基保温筒和下部碳基保温筒之间,并与中部保温支撑筒底部相连;托板一端与横向保温支撑环相连,另一端与支撑连杆的顶端相连;支撑连杆位于碳基保温筒和炉筒之间的真空腔体内,另一端从炉底板中穿出,并与升降底座相连;波纹软管套装在支撑连杆外周;波纹软管内呈真空状态;波纹软管的长度能够伸缩,升降底座的高度能够升降。本申请能将热场的冷却时间缩短50%以上,并且拆炉时热场温度能控制在100‑200℃,减弱热场氧化,提高石墨件使用寿命,降低生产成本。
技术领域
本发明涉及光伏制造行业,特别是一种单晶炉热场冷却装置。
背景技术
现有的单晶炉,在生产完结后,需要将热场冷却后,再进行清理,重新投炉。 然而,现有的冷却方法,存在着如下不足,有待进行解决:
1、现有的单晶热场,整个热场结构外部全部被碳基保温材料包覆,以确保在整个生产过程中热量尽可能少的散失,从而保证整个热场环境的温度恒定。在停炉且发热体关闭后,热场部件中的余热,仅能靠保温材料的自然热量传递和辐射至炉底板、炉筒、炉盖和副室等,再通过循环水将炉底板、炉筒、炉盖和副室等表面的热量带走,热量散失缓慢,需要自然冷却6-12小时,冷却等待时间长,生产效率低。
2、自然冷却6-12小时后,热场温度依然很高,大约在300~400°。拆炉时,热场部件将因温度高,易出现局部氧化,热场老化速度较快,石墨件寿命偏低,生产成本高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足,而提供一种单晶炉热场冷却装置,该单晶炉热场冷却装置能将热场的冷却时间缩短50%以上,并且拆炉时热场温度能控制在100-200℃,减弱热场氧化,提高石墨件使用寿命,降低生产成本。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:
一种单晶炉热场冷却装置,包括横向保温支撑环和至少两个冷却升降装置,每个冷却升降装置均包括托板、支撑连杆、波纹软管和升降底座。
直拉法单晶炉包括炉筒、炉盖、炉底板、碳基保温筒和碳基支撑筒。
炉盖设置在炉筒顶部,炉底板位于炉筒底部,炉筒、炉盖和炉底板共同围合形成密闭的真空腔体。
碳基保温筒同轴套设在炉筒的内侧,从上至下依次包括上部碳基保温筒、中部碳基保温筒和下部碳基保温筒。
碳基支撑筒同轴设置在碳基保温筒的内侧,从上至下依次包括上部保温支撑筒、中部保温支撑筒和下部保温支撑筒,分别用于支撑上部碳基保温筒、中部碳基保温筒和下部碳基保温筒。
横向保温支撑环设置在中部碳基保温筒的底部,并与中部保温支撑筒底部相连接。托板一端与横向保温支撑环相连接,另一端与支撑连杆的顶端相连接。支撑连杆竖向设置,且位于碳基保温筒和炉筒之间的真空腔体内,支撑连杆的另一端从炉底板中穿出,并与升降底座相连接。
波纹软管套装在位于炉底板和升降底座之间的支撑连杆外周,且波纹软管顶部与炉底板密封连接,波纹软管底部与升降底座密封连接。波纹软管内呈真空状态。
波纹软管的长度能够伸缩,升降底座的高度能够升降。
托板与横向保温支撑环的连接为交错重叠连接,下部碳基保温筒顶部设置有托板放置槽,托板能放置在托板放置槽中。
波纹软管为焊接波纹软管。
波纹软管的最大拉伸长度大于300mm,波纹软管的最小压缩长度小于100mm。
托板水平设置。
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