[实用新型]分体壳体磁流体传动装置

说明书

本实用新型涉及一种分体壳体磁流体传动装置，包括：转轴，与转轴枢接的下壳体，与下壳体连接且与转轴枢接的上壳体，两个一一对应设于下壳体内侧围和上壳体内侧围的磁极腔，两个一一对应装于两个磁极腔中的磁极片，两个分别装于转轴外侧围且与两个磁极片一一对应的磁流体，设于上壳体下端的电机腔，套在转轴外且与电机腔顶面连接的电机隔环，设于电机腔中的无框力矩电机；无框力矩电机的转子与转轴连接，无框力矩电机的定子与电机隔环下端连接。所述的分体壳体磁流体传动装置，结构紧凑占用空间较小，磁流体密封装置的转轴旋转精度较高；下壳体与上壳体分设便于装拆。

技术领域

本实用新型涉及磁流体密封技术领域，尤其是一种分体壳体磁流体传动装置。

背景技术

磁流体密封技术由于其结构和性能上的优越性，在刻蚀机，单晶硅炉、真空钎焊炉、真空熔炼炉、化学气相沉积、离子镀膜、液晶再生等真空设备上得到了广泛应用；中国专利公开号为CN102864437A的发明专利，公开了一种用于MOCVD设备的旋转装置，其旋转主轴通过磁流体密封装置与马达连接；传统的磁流体密封装置只是一个带转轴的旋转密封装置，置于旋转密封装置外的驱动电机通过传动构件与转轴的一端连接，存在占用空间较大，磁流体密封装置的转轴旋转精度较低的不足，因此设计一种占用空间较小，磁流体密封装置的转轴旋转精度较高的分体壳体磁流体传动装置，成为亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服目前的磁流体密封装置只是一个带转轴的旋转密封装置，置于旋转密封装置外的驱动电机通过传动构件与转轴的一端连接，存在占用空间较大，磁流体密封装置的转轴旋转精度较低的不足，提供一种占用空间较小，磁流体密封装置的转轴旋转精度较高的分体壳体磁流体传动装置。

本实用新型的具体技术方案是：

一种分体壳体磁流体传动装置，包括：转轴，与转轴枢接的下壳体，与下壳体连接且与转轴枢接的上壳体，两个一一对应设于下壳体内侧围和上壳体内侧围的磁极腔，两个一一对应装于两个磁极腔中的磁极片，两个一一对应设于转轴外侧围与两个磁极片之间的磁流体，设于上壳体下端的电机腔，套在转轴外且与电机腔顶面连接的电机隔环，设于电机腔中的无框力矩电机；无框力矩电机的转子与转轴连接，无框力矩电机的定子与电机隔环下端连接。所述的分体壳体磁流体传动装置，把无框力矩电机直接集成到磁流体内部，结构紧凑占用空间较小，无框力矩电机的转子直接与转轴连接，磁流体密封装置的转轴旋转精度较高；下壳体与上壳体分设便于装拆。

作为优选，所述的分体壳体磁流体传动装置还包括：设于电机腔中的编码器和与转轴连接的编码器座，编码器的感应环位于无框力矩电机下侧且与编码器座连接，编码器的读数头与电机腔侧围连接。直接将编码器集成进磁流体内部，既能精确控制磁流体密封装置的旋转速度，又节省了空间，且保护编码器不损坏。

作为优选，所述的电机腔顶面设有与位于上壳体中的磁极腔贯通的上轴承腔，挡住磁极片下端且与上轴承腔顶面连接的轴承挡环，设于轴承挡环和电机隔环之间的角接触球轴承；转轴与上壳体通过角接触球轴承枢接；下壳体上端设有与位于下壳体中的磁极腔贯通的下轴承腔，下轴承腔中设有深沟球轴承；转轴与下壳体通过深沟球轴承枢接。转轴与上壳体通过角接触球轴承枢接，转轴与下壳体通过深沟球轴承枢接，使该磁流体传动装置可以在1200转/分钟的设备上正常运行，且提高了旋转精度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：所述的分体壳体磁流体传动装置，把无框力矩电机直接集成到磁流体内部，结构紧凑占用空间较小，无框力矩电机的转子直接与转轴连接，磁流体密封装置的转轴旋转精度较高；下壳体与上壳体分设便于装拆。直接将编码器集成进磁流体内部，既能精确控制磁流体密封装置的旋转速度，又节省了空间，且保护编码器不损坏。转轴与上壳体通过角接触球轴承枢接，转轴与下壳体通过深沟球轴承枢接，使该磁流体传动装置可以在1200转/分钟的设备上正常运行，且提高了旋转精度。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图。