[实用新型]太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置

说明书

本实用新型提供了一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，包括底座、直线滑轨机构和用于驱动回反射镜于直线滑轨机构上作直线往复运动的音圈电机；直线滑轨机构包括固定于底座上的滑块和用于带动回反射镜作直线往复运动的导轨，滑块上对应设有配合导轨直线移动的滑槽，滑轨滑动安装于滑槽中，音圈电机的动力输出端与所述导轨相连。本实用新型提供了一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置。通过把直线滑轨机构重量相对较大的滑块固定安装在底座上，并将重量相对较小的导轨滑动安装于滑块上，以通过导轨带动回反射镜于底座上作直线往复运动，减小了往复运动部件惯量的产生，从而有效降低运动部件的惯性对音圈电机驱动回反射镜往复运动频率的影响。

技术领域

本实用新型属于太赫兹时域光谱仪技术领域，更具体地说，是涉及一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置。

背景技术

太赫兹时域光谱技术是20世纪80年代中后期发展并新兴的一种电磁辐射位相相干探测技术，其被广泛应用于成像、光谱分析、无损检测、卫星通信等领域。基于太赫兹时域光谱技术的太赫兹时域光谱仪设备，通常需要设置直线驱动装置驱动回反射镜作直线往复运动，以通过回反射镜对设备内部的激光进行反射。当前应用于太赫兹时域光谱仪设备中，配合音圈电机4的直线滑轨机构3通常采用传统的正装方式，即将直线滑轨机构3的导轨32固定于底座1上，再将滑块31滑动安装于导轨32上，以通过音圈电机4驱动滑块32带动回反射镜2作直线往复运动。然而，音圈电机驱动回反射镜往复运动频率通常较高，而滑块的重量较重则会产生较大的惯量，影响音圈电机驱动回反射镜的往复运动频率，并导致整个直线驱动装置产生较大振动，影响太赫兹时域光谱仪的光谱清晰度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，旨在解决现有技术中存在的应用于太赫兹时域光谱仪设备的直线驱动装置，音圈电机驱动回反射镜往复运动频率通常较高，滑块的重量较重而会产生较大的惯量，影响音圈电机驱动回反射镜的往复运动频率的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是提供一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，包括底座、用于将回反射镜滑动安装于所述底座上的直线滑轨机构和用于驱动所述回反射镜于所述直线滑轨机构上作直线往复运动的音圈电机；所述直线滑轨机构包括固定于所述底座上的滑块和用于带动所述回反射镜作直线往复运动的导轨，所述滑块上对应设有配合所述导轨直线移动的滑槽，所述导轨滑动安装于所述滑槽中，所述音圈电机的动力输出端与所述导轨相连。

进一步地，所述底座包括水平设置的水平支撑板和一端与所述水平支撑板相连的竖直支撑板，所述滑块固定安装于所述水平支撑板上，所述音圈电机与所述竖直支撑板固定相连。

进一步地，所述音圈电机包括用于驱动所述导轨于所述滑块上作直线往复运动的电机线圈、套于所述电机线圈上的电机套筒和设置于所述电机套筒内并与所述电机线圈配合的永磁体，所述电机套筒与所述竖直支撑板固定相连。

进一步地，所述竖直支撑板上设有用于定位所述电机套筒的定位槽。

进一步地，所述直线滑轨机构还包括用于将所述回反射镜支撑于所述导轨上的支撑板，所述支撑板与所述导轨固定相连。

进一步地，所述支撑板上设有用于固定安装所述回反射镜的安装座。

进一步地，所述安装座上设有用于固定安装所述回反射镜的安装槽。

进一步地，所述太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置还包括用于测量所述回反射镜位移信息的位移传感器。

进一步地，所述位移传感器为光栅尺传感器，所述光栅尺传感器包括用于标定所述回反射镜运动位置的标尺光栅和用于与所述标尺光栅配合以对所述回反射镜运动位置信息进行采集的光栅读数头，所述光栅读数头设置于所述底座上，所述标尺光栅设置于所述支撑板上。

进一步地，所述支撑板靠近所述光栅读数头的一侧设有凹槽，所述标尺光栅安装于所述凹槽中。