[实用新型]一种半导体材料存放装置

权利要求书

1.一种半导体材料存放装置，包括盒体(1)，其特征在于：所述盒体(1)右侧面的底部开设有空腔(2)，所述盒体(1)的右侧面开设有位于空腔(2)上方的限位槽(3)，所述空腔(2)的内部活动安装有固定板(4)，所述固定板(4)左右两侧面的后部均固定安装有限位杆(5)，所述空腔(2)的左右两侧均固定安装有凹槽组(6)，两个所述凹槽组(6)的内腔均固定安装有转轴(7)，所述转轴(7)的外表面活动套接有滚轮(8)，所述固定板(4)背面的左右两侧均固定连接有伸缩弹簧(9)，两个所述伸缩弹簧(9)的后端与空腔(2)的背面固定连接，所述盒体(1)顶部的中间开设有通口(10)，所述盒体(1)内腔左右两侧的顶部均固定安装有固定杆(11)，两个所述固定杆(11)相靠近的一端固定连接有同一定位管(12)，所述定位管(12)的内腔螺纹套接有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)的顶部固定安装有限位块(14)，所述盒体(1)的内腔固定安装有位于定位管(12)下方的密封板(15)，所述螺纹杆(13)的底端贯穿密封板(15)的顶部并延伸至下方，所述螺纹杆(13)与密封板(15)连接处的上方固定安装有密封垫(16)，所述螺纹杆(13)的底端固定连接有密封环(17)，所述盒体(1)的内腔固定安装有位于密封环(17)下方的过滤层(18)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料存放装置，其特征在于：所述密封板(15)顶部的左右两侧均开设有进气口(20)，两个所述进气口(20) 均位于密封环(17)的正上方。

3.根据权利要求1所述的一种半导体材料存放装置，其特征在于：所述定位管(12)的内腔开设有螺纹，且螺纹的方向与螺纹杆(13)的方向相同。

4.根据权利要求1所述的一种半导体材料存放装置，其特征在于：两个所述凹槽组(6)的位置相对平行，且两个凹槽组(6)长度的大小均为空腔(2)长度大小的一半。

5.根据权利要求1所述的一种半导体材料存放装置，其特征在于：所述凹槽组(6)上下两组滚轮之间距离的长度大于限位杆(5)直径的长度。

6.根据权利要求1所述的一种半导体材料存放装置，其特征在于：所述固定板(4)的顶部固定安装有固定块(19)，固定块(19)为″L″形，且固定块(19)顶部的大小与限位槽(3)的大小相适配。