[实用新型]光波导元件及光调制器

权利要求书

1.一种光波导元件，具备：

基板，具有电光效应，具有为了供光波传播而形成的光波导；及

控制电极，形成于所述基板，向在所述光波导中传播的光波施加调制信号，

所述光波导具有至少一个光调制部，该光调制部具有被施加所述调制信号的并行的一对直线光波导，

所述控制电极具有信号电极和分别配置在所述信号电极的两侧的接地电极，

所述信号电极具有配置在所述一对直线光波导之间的带状的电极主体部，

所述直线光波导配置在相当于所述电极主体部与所述接地电极之间的位置，

所述光波导元件的特征在于，

所述信号电极及所述接地电极分别隔着具有第二金属层和第一金属层的衬底层而形成在所述基板上，所述第二金属层形成在所述基板的表面，所述第一金属层与所述第二金属层接合，并与所述信号电极及所述接地电极接合，

所述信号电极中的至少所述电极主体部具有20μm以上的宽度，

在将所述电极主体部的宽度设为Ws、将设置在所述电极主体部与所述基板之间的所述衬底层中的所述第一金属层的宽度设为W1、将所述第二金属层的宽度设为W2的情况下，Ws≥W1W2。

2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

所述Ws、所述W1、所述W2为WsW1W2，

所述电极主体部及与所述电极主体部接合的所述第一金属层分别具有包含向所述基板侧露出的角部的横截面形状，

所述电极主体部的所述角部形成为圆角状的横截面形状。

3.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

所述Ws、所述W1、所述W2为WsW1W2，

所述电极主体部及与所述电极主体部接合的所述第一金属层分别具有包含向所述基板侧露出的角部的横截面形状，

所述第一金属层的所述角部形成为圆角状的横截面形状。

4.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

所述Ws、所述W1、所述W2为WsW1W2，

所述电极主体部及与所述电极主体部接合的所述第一金属层分别具有包含向所述基板侧露出的角部的横截面形状，

所述电极主体部的所述角部及所述第一金属层的所述角部形成为圆角状的横截面形状。

5.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

所述Ws、所述W1、所述W2为Ws＝W1W2，

所述第一金属层具有包含向所述基板侧露出的角部的横截面形状，所述角部形成为圆角状的横截面形状。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的光波导元件，其特征在于，

所述Ws与所述W2之差(Ws-W2)为1～2μm。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的光波导元件，其特征在于，

所述信号电极及所述接地电极由电阻率为2.44～1.59×10^-8Ωm的金属构成，

所述衬底层的所述第一金属层由电阻率为2.44～1.59×10^-8Ωm的金属构成，

所述衬底层的所述第二金属层由电阻率为2.82×10^-8～4.27×10^-7Ωm的过渡金属构成。

8.一种光调制器，其特征在于，具备：

权利要求1～7中任一项所述的光波导元件；

外壳，收纳所述光波导元件；及

输入侧的光传输单元和输出侧的光传输单元，与所述光波导元件光学连接，所述输入侧的光传输单元向所述光波导元件的所述光波导输入光波，所述输出侧的光传输单元从所述光波导输出光波。