[实用新型]一种用于芯片硅生产的环保处理设备

权利要求书

1.一种用于芯片硅生产的环保处理设备，包括酸洗池（1），其特征在于：所述酸洗池（1）的下端一侧贯穿设有排液管（2），所述排液管（2）的一端连接有第一电控三通阀（7），所述第一电控三通阀（7）的两侧均连接有排污管（8），两个排污管（8）的一端均贯穿设有反应罐（9），所述反应罐（9）上设有混合装置，两个反应罐（9）的上端一侧均贯穿设有输药管（3），两个输药管（3）之间共同连接有第二电控三通阀（4），所述第二电控三通阀（4）的一端连接有储药罐（5），两个反应罐（9）的下端均贯穿设有连接管（6），两个连接管（6）的一端共同连接有第三电控三通阀（10），所述第三电控三通阀（10）的一端连接有过滤池（11），所述过滤池（11）的下端一侧贯穿设有出水管（24），所述出水管（24）的一端连接有沉淀池（12）。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：所述混合装置包括安装在反应罐（9）上的驱动电机（19），所述驱动电机（19）的输出轴末端通过联轴器固定有连接轴（20），所述连接轴（20）的下端延伸至反应罐（9）内，所述连接轴（20）的下端固定有转盘（28），所述转盘（28）的一周侧壁上等间距固定有四个横杆（27），所述横杆（27）上套设有第一转轴（18），所述第一转轴（18）的上端固定有齿轮（15），所述反应罐（9）的一周侧壁上固定有内齿圈（16），四个齿轮（15）均和内齿圈（16）相啮合，所述转盘（28）的下端固定有第二转轴（21），所述第二转轴（21）和四个第一转轴（18）上均等间距固定有两个以上的搅拌叶（17），所述第二转轴（21）和四个第一转轴（18）的下端共同设有连接机构，所述连接机构和反应罐（9）相连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：所述连接机构包括转动连接在四个第一转轴（18）下端的放置板（30），所述第二转轴（21）的下端转动连接有承载板（29），所述承载板（29）的一周侧壁上等间距固定有四个连接杆（31），四个连接杆（31）的一端分别固定在四个放置板（30）的一侧，所述承载板（29）的下端转动连接在反应罐（9）内的底部。

4.根据权利要求1所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：所述酸洗池（1）内放置有承载筐（39），所述承载筐（39）的上端四角均固定有吊耳（13），所述酸洗池（1）内的一端侧壁上贯穿设有进液管（14）。

5.根据权利要求1所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：所述储药罐（5）的上端一侧铰接有盖板（35），所述盖板（35）的一侧固定有竖板（36），所述竖板（36）上套设有滑杆（37），所述滑杆（37）上套设有弹簧（38），所述弹簧（38）的两端分别固定在滑杆（37）的一端和竖板（36）的一侧，所述储药罐（5）上设有盲孔（34），所述滑杆（37）的一端延伸至盲孔（34）内。

6.根据权利要求5所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：所述盖板（35）的下端和储药罐（5）的上端均固定有橡胶垫（33）。

7.根据权利要求1所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：所述过滤池（11）内的底部铺设有砂石层（23），所述砂石层（23）的上端铺设有鹅卵石层（22）。

8.根据权利要求1所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：所述沉淀池（12）的下端一侧贯穿设有排水管（26），所述排水管（26）上安装有阀门（25）。

9.根据权利要求3所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：四个放置板（30）上共同固定有套环（32）。