[实用新型]一种等离子处理机的中转模组以及等离子处理机

权利要求书

1.一种等离子处理机的中转模组，包括基座、设置在基座上表面的容纳腔，其特征在于：所述的容纳腔内设有第一电极板、用于支撑外设的托盘和将外设的托盘移送到或移出容纳腔的移送组件。

2.根据权利要求1所述的等离子处理机的中转模组，其特征在于：所述的移送组件包括一对并排布置的输送链条、用于驱动输送链条的驱动轴、用于驱动驱动轴转动的驱动电机，所述的输送链条从容纳腔的一侧延伸到容纳腔的另外相对的一侧。

3.根据权利要求2所述的等离子处理机的中转模组，其特征在于：所述的驱动电机为步进电机。

4.根据权利要求2所述的等离子处理机的中转模组，其特征在于：所述的移送组件还包括设置在输送链条两端的从动轴，所述的驱动轴设置在输送链条的中部。

5.根据权利要求4所述的等离子处理机的中转模组，其特征在于：所述的容纳腔内设有第一轴承支撑座和第二轴承支撑座，所述的从动轴通过轴承连接在第一轴承支撑座上，所述的驱动轴通过轴承连接在第二轴承支撑座上；所述的驱动轴通过齿轮和输送链条啮合。

6.根据权利要求4所述的等离子处理机的中转模组，其特征在于：所述的第一电极板由蛇形的布置的电极杆组成；所述的输送链条的上侧位于第一电极板的蛇形路径的空隙中。

7.根据权利要求1-5任一所述的等离子处理机的中转模组，其特征在于：所述的基座上设有丝杆套，所述的丝杆套与外设的用于驱动基座升降的丝杆配合。

8.根据权利要求1-5任一所述的等离子处理机的中转模组，其特征在于：所述的基座上还设有位于容纳腔下部的用于移送外设的托盘的辅助移送组件，所述的辅助移送组件和移送组件的移送方向相反。

9.一种等离子处理机，其特征在于，包括依次布置的进料输送模组、等离子处理模组、回流中转模组，所述的进料输送模组上设有第一输送带，所述的回流中转模组上设有第二输送带；所述的等离子处理模组内设有电极板单元，所述的电极板单元内设有与第一电极板配合的第二电极板、抽真空单元、氧气供应单元；所述的第一电极板和第二电极板所产生的电压极性相反；

如权利要求1-8任一所述的中转模组设置在所述的等离子处理模组内并通过升降驱动机构驱动升降；

当中转模组通过升降驱动机构上升至第一预设位置时，所述的容纳腔和电极板单元密封配合形成等离子发生腔体；

当中转模组通过升降机构下降到第二预设位置时，所述的第一输送带、移送组件、第二输送带位于同一直线上；

所述的第一输送带、第二输送带均可正反转。

10.根据权利要求9所述的等离子处理机，其特征在于，所述的基座上还设有位于容纳腔下部的用于移送外设的托盘的辅助移送组件，所述的辅助移送组件和移送组件的移送方向相反；

当中转模组通过升降机构上升至第一预设位置时，所述的第一输送带、辅助移送组件、第二输送带位于同一直线上。