[实用新型]真空系统排气消音装置及真空系统

权利要求书

1.一种真空系统排气消音装置，其特征在于，包括：

第一挡板阀，安装在真空管道上，所述第一挡板阀的内径与真空管道的内径相同；

旁通管道，所述旁通管道的一端与所述第一挡板阀一侧的真空管道连通，另一端与所述第一挡板阀另一侧的真空管道连通，所述旁通管道的内径为真空管道内径0.1-0.2倍；

第二挡板阀，安装在旁通管道上，所述第二挡板阀的内径与所述旁通管道的内径相同；

以及串联连接的抽真空阀门继电器和断电延时型时间继电器，所述抽真空阀门继电器与PLC连接，所述时间继电器的常闭触点与第一挡板阀的控制线连接，所述时间继电器的常开触点与第二挡板阀的控制线连接，所述时间继电器设置为断电延时。

2.如权利要求1所述的真空系统排气消音装置，其特征在于，所述真空管道上第一挡板阀两侧的真空管道上分别开设一个内径与旁通管道内径相同的旁通管道口，旁通管道一端与第一旁通管道口连接，另一端与第二旁通管道口连接。

3.如权利要求1或2所述的真空系统排气消音装置，其特征在于，两个旁通管道口均为法兰口，每个旁通管道口与旁通管道对接处均设置有密封胶圈和卡扣。

4.如权利要求1所述的真空系统排气消音装置，其特征在于，所述时间继电器设有用于指示第一挡板阀工作状态的LED灯。

5.如权利要求1所述的真空系统排气消音装置，其特征在于，所述时间继电器上设有用于控制第一挡板阀和第二挡板阀开关切换时间的旋钮，所述旋钮设数字转盘。

6.一种真空系统，包括真空泵和一端与所述真空泵连通的真空管道，其特征在于，还包括如权利要求1-3任意一项所述的真空系统排气消音装置。

7.如权利要求6所述的真空系统，其特征在于，还包括设于真空泵泵体上的真空消音装置，所受真空消音装置连接于所述真空泵和所述真空管道之间。

8.如权利要求7所述的真空系统，其特征在于，所述真空消音装置为真空消音器。