[实用新型]蒸镀坩埚组件有效
| 申请号： | 201921366837.2 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN210237756U | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 游佩武;王毅 | 申请（专利权）人： | 扬州杰利半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 | 代理人： | 周全;葛军 |
| 地址： | 225008 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 组件 | ||
【权利要求书】：
1.蒸镀坩埚组件，包括铜坩埚，其特征在于，还包括石墨坩埚和支撑组，所述石墨坩埚通过支撑组设在铜坩埚内，
所述支撑组包括支撑体和四个弹簧，所述支撑体设在铜坩埚的底部、且用于支撑石墨坩埚，四个弹簧呈环形设在铜坩埚的内壁，所述石墨坩埚位于四个弹簧之间。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚组件，其特征在于，所述支撑体为钼垫片。
3.根据权利要求1或2所述的蒸镀坩埚组件，其特征在于，所述石墨坩埚的底部设有容置槽，所述支撑体位于容置槽内。
4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚组件，其特征在于，所述铜坩埚的底部设有定位柱，所述支撑体上设有定位槽，所述定位柱适配地设在定位槽内。
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