[实用新型]一种高精度定位平台

说明书

本实用新型涉及定位平台技术领域，尤其涉及一种高精度定位平台，包括底板、导轨、固定板、定子、转子、永磁体、电磁铁、移动平台、位移传感器、安装箱、滚珠丝杆、滚珠螺母、驱动马达、连接板、电动推杆和固定耳，所述底板顶部中间位置的两侧分别与两个所述导轨的底部固定连接，所述固定板背面的两侧分别与两个导轨正面的底部固定连接，所述定子位于两个所述导轨之间的空隙中。本实用新型达到了利用电磁力来控制动平台起浮以及实现多自由度运动的目的，同时具有无需润滑、进给速度高、加速度大、启动推力大、刚度和定位精度高、行程长度不受限制等优点，并且取消了从电动机到工作台之间的一切中间环节，实现了“零传动”的效果。

技术领域

本实用新型涉及定位平台技术领域，尤其涉及一种高精度定位平台。

背景技术

现代制造技术正朝着高速化、精密化和模块化方向发展，信息等高新技术制造业不仅对加工设备性能提出了越来越高的要求，如定位的精度和速度，而且对生产制作同样提出了越来越严格的要求，如光电子器件、半导体芯片等微电子产品，均要求在超洁净环境下完成加工制作。在微电子封装设备如共晶粘片机、全自动金丝球焊机和IC芯片制作设备如光刻机中，往往需要快速而十分精确的定位和非常精细的运动，因此需要高性能的超精密工作台作为其技术支持。

长期以来，这类工作台多数都采用旋转伺服电机驱动和精密滚珠丝杠传动的传统方案。由于从电机到移动工作台之间存在联轴节、丝杠、螺母、轴承等诸多中间环节，不仅加大了定位机构的惯性质量，影响了响应频率，而且由于中间环节产生的弹性变形、摩擦、联结间隙以及反向间隙等，会造成定位进给运动的滞后和非线性误差，降低定位精度。另外，丝杠是细长杆，在力和热的作用下，会产生变形，影响加工精度。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高精度定位平台，达到了利用电磁力来控制平台起浮以及实现多自由度运动的目的，同时具有无需润滑、进给速度高、加速度大、启动推力大、刚度和定位精度高、行程长度不受限制等优点，并且取消了从电动机到工作台之间的一切中间环节，实现了“零传动”的效果。

(二)技术方案

为实现上述技术问题，本实用新型提供了如下技术方案：一种高精度定位平台，包括底板、导轨、固定板、定子、转子、永磁体、电磁铁、移动平台、位移传感器、安装箱、滚珠丝杆、滚珠螺母、驱动马达、连接板、电动推杆和固定耳，所述底板顶部中间位置的两侧分别与两个所述导轨的底部固定连接，所述固定板背面的两侧分别与两个导轨正面的底部固定连接，所述定子位于两个所述导轨之间的空隙中，且定子的两侧分别与两个所述导轨相对一侧的顶部固定连接，所述转子位于定子顶部的中间位置，两个所述导轨底部的中间位置分别与两个所述永磁体的顶部固定连接，两个所述电磁铁分别位于两个所述导轨相背一侧的顶部，两个所述电磁铁相对一侧的顶部分别与移动平台的两侧固定连接。

进一步地，所述导轨的形状为F状，且两个所述导轨的直边部分呈相背位置关系分布。

进一步地，所述电磁铁的形状为C字状，两个所述导轨相背一侧的外表面分别与两个所述电磁铁的相对一侧之间存在间隙。

进一步地，所述导轨顶部的中间位置开设有安装槽，所述位移传感器位于安装槽的内部，所述位移传感器与安装槽的数量至少为三个，且位移传感器之间等距离均匀分布。

进一步地，所述安装箱位于底板底部的下方，所述滚珠丝杆的两端分别与安装箱内壁的两侧转动连接，所述滚珠螺母与滚珠丝杆传动连接，所述驱动马达的一侧与安装箱的左侧固定连接，所述驱动马达的输出端与滚珠丝杆的一端传动连接。

进一步地，所述滚珠螺母的顶部与连接板的底部固定连接，所述连接板的顶部与电动推杆的底部固定连接，所述电动推杆的顶部延伸至安装箱顶部的上方，所述电动推杆顶部的自由端与底板底部的中间位置固定连接。