[实用新型]一种靶材浇铸加热装置有效
| 申请号: | 201921362100.3 | 申请日: | 2019-08-21 |
| 公开(公告)号: | CN210305714U | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
| 发明(设计)人: | 黄汝峰;刘贵兵 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号: | B22D27/04 | 分类号: | B22D27/04;B22D46/00 |
| 代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
| 地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 浇铸 加热 装置 | ||
1.一种靶材浇铸加热装置,其特征在于:包括加热平台和独立于加热平台的电控柜,加热平台间隔安装有三组发热管组,加热平台的底面对应三组发热管组的位置分别安装有三个热电偶,电控柜内设有用于调控发热管组温度的温度控制电路,
温度控制电路设置有三相电源输入端口,三相电源输入端口分别并联有加热支路和温度反馈支路,加热支路设置有三相调压模块,三组发热管并联形成一发热管组支路,三相调压模块和发热管组支路串联而成一加热支路,
温度反馈支路设置有三个温控器、第一接触器KM2、第二接触器KM3和第三接触器KM4,
第一接触器KM2的常开开关的第一端、第二接触器KM3的常开开关的第一端和第三接触器KM4的常开开关的第一端分别电连接于三相调压模块的三个输出极,
第一接触器KM2的常开开关的第二端、第二接触器KM3的常开开关的第二端和第三接触器KM4的常开开关的第二端分别电连接于三组发热管,
第一接触器KM2的线圈、第二接触器KM3的线圈和第三接触器KM4的线圈分别电连接于三个温控器的信号输出接口,各温控器的信号输入接口分别各热电偶,以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号。
2.根据权利要求1所述的一种靶材浇铸加热装置,其特征在于:所述第一接触器KM2、所述第二接触器KM3和所述第三接触器KM4均选用固态继电器,所述热电偶选用K型热电偶。
3.根据权利要求1所述的一种靶材浇铸加热装置,其特征在于:所述温控器设置有储存单元,储存单元电连接温控器,以实现保存带有时间标记的温度信号,并存储形成一时间温度比较曲线或时间温度对照表;
温控器还设置有时间温度比较单元,时间温度比较单元电连接温控器,以实现将热电偶的电流信号或电压信号与存储在储存单元中的时间温度比较曲线或时间温度对照表进行比较。
4.根据权利要求1所述的一种靶材浇铸加热装置,其特征在于:所述三相电源输入端口电连接有主控电路,主控电路设置有空气开关QF3和主电源开关SA1,
空气开关QF3和主电源开关SA1串行形成一电源开关支路,电源开关支路设置有电源输入端和第一供电输出端,电源输入端电连接于三相电源输入端口,第一供电输出端并联有电源指示支路、接触器支路和紧急停止支路,
电源指示支路设置有电源指示灯H1,电源指示灯H1电连接于第一供电输出端以形成一电源指示支路,
接触器支路设置有三相接触器KM1,三相接触器KM1的线圈电连接于第一供电输出端以形成一接触器支路,三相接触器KM1的常开开关电连接于三相调压模块的三个输入极,
紧急停止支路设置有紧急停止开关SB1和第二供电输出端,紧急停止开关SB1为常闭自锁开关,紧急停止开关SB1的第一端电连接于第一供电输出端,紧急停止开关SB1的第二端作为紧急停止支路的第二供电输出端。
5.根据权利要求4所述的一种靶材浇铸加热装置,其特征在于:所述第二供电输出端并联有第一加热支路、第二加热支路和第三加热支路,
第一加热支路设置有温控器启动开关SA2,温控器启动开关SA2的第一端电连接于第二供电输出端,温控器启动开关SA2的第二端并联有温控器启动支路、第一加热指示支路、第一停止加热指示支路,
温控器启动支路设置有所述第一接触器KM2和第一电流继电器KA1,第一电流继电器KA1的常开开关和第一接触器KM2的线圈串联形成一温控器启动支路,第一电流继电器KA1的线圈电连接于温控器的信号输出接口,
第一加热指示支路设置有加热指示灯HL2,加热指示灯HL2电连接于第一电流继电器KA1的常开开关,
第一停止加热指示支路设置有停止加热指示灯HL3,停止加热指示灯HL3电连接于第一接触器KM2的常闭开关。
6.根据权利要求1至5任一项所述的一种靶材浇铸加热装置,其特征在于:所述发热管组包括6-12个发热管,且各发热管呈矩阵排列,各发热管均选用硅钼棒。
7.根据权利要求1所述的一种靶材浇铸加热装置,其特征在于:所述三相调压模块的输出端并联有一三相交流互感器TA和所述三组发热管组,三相交流互感器TA耦接有一三相电压表和一三相电流表。
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