[实用新型]一种管式反应器的布气法兰

说明书

一种管式反应器的布气法兰，包括圆形的法兰本体，所述的法兰本体的周向内侧设有若干第一环形槽，所述的若干第一环形槽沿法兰本体轴向间隔布置，每个第一环形槽的开口侧均设有与第一环形槽相匹配的挡圈，挡圈的周向内侧与法兰本体周向内侧相平齐，每个第一环形槽与对应的挡圈形成一个环形气道，所述的每个挡圈周向均布有若干连通第一环形槽内外的通孔，所述的每个通孔上均设有与通孔相匹配的柱塞，所述的柱塞为实心柱塞或带有穿孔的柱塞，法兰本体周向外侧设有若干气孔，气孔在法兰本体外侧沿法兰本体周向间隔布置，所述的气孔与第一环形槽一一对应且相对应的气孔与第一环形槽相连通。本布气法兰布气均匀且可以根据需要调节进气的大小、流向。

技术领域

本实用新型涉及一种管式反应器的布气法兰。

背景技术

化学气相沉积镀膜工艺中，管式反应器进气方式包括单炉口进气、单炉尾进气或者两者结合，现有的管式反应器进气炉口布气装置是在法兰上安装两根气管，只有两点进气，布气不均匀且无法调节进气的大小、流向，现有技术也有采用喷淋板，喷淋版和管式反应器无法集成到一起，是分体式，在自动化设备上设计复杂，也无法对进气进行调节。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种布气均匀且可以调节进气的大小、流向的管式反应器的布气法兰。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种管式反应器的布气法兰，包括圆形的法兰本体，所述的法兰本体的周向内侧设有若干第一环形槽，所述的若干第一环形槽沿法兰本体轴向间隔布置，每个第一环形槽的开口侧均设有与第一环形槽相匹配的挡圈，挡圈的周向内侧与法兰本体周向内侧相平齐，每个第一环形槽与对应的挡圈形成一个环形气道，所述的每个挡圈周向均布有若干连通第一环形槽内外的通孔，所述的每个通孔上均设有与通孔相匹配的柱塞，所述的柱塞为实心柱塞或带有穿孔的柱塞，法兰本体周向外侧设有若干气孔，气孔在法兰本体外侧沿法兰本体周向间隔布置，所述的气孔与第一环形槽一一对应且相对应的气孔与第一环形槽相连通。

为简单说明问题起见，以下对本实用新型所述的一种管式反应器的布气法兰均简称为本布气法兰。

本布气法兰的使用方法为：将本布气法兰安装于管式反应器的管口处，然后将镀膜气体的管路分别接在气孔上，然后根据镀膜的要求在对应的通孔上安装具有不同孔径的穿孔的柱塞或者实心柱塞，然后控制与管式反应器配合的盲板将管式反应器管口密封，然后抽真空、加热，最后通入镀膜气体完成镀膜。

本布气法兰的优点在于：本布气法兰布气均匀且可以通过更换不同孔径的柱塞或者实心柱塞来调节进气的大小、流向，从而应对不同种类的镀膜需求。

为更好的达到本布气法兰的使用效果，其优选方案如下：

作为优选的，所述的法兰本体内设有一个沿法兰本体周向布置的环形水道，所述的环形水道内设有一个与环形水道相匹配的隔板，法兰本体周向外侧位置上对应环形水道中隔板的两侧处分别设有一个连通环形水道的通道。

两个与环形水道连通的通道一个为进水口、另一个为出水口，这样可以在法兰本体内构成循环水路，对法兰本体起到降温的作用，保护法兰本体不被加热炉高温损坏。

作为优选的，所述的法兰本体至少一个轴向侧面上设有沿法兰本体周向布置的第二环形槽，所述的第二环形槽的开口处为收口结构。

当本布气法兰需要与其他法兰配合时，在对应的轴向侧面的第二环形槽内安装与之相匹配的橡胶圈可以增加法兰配合的气密性，收口结构可以使橡胶圈安装更加稳定，不易脱出。

作为优选的，所述的柱塞与通孔为螺纹配合。

柱塞与通孔螺纹配合，安装和拆卸方便快捷，便于根据需要进行更换。

作为优选的，相邻位置上的挡圈上的通孔位置上交错布置。

相邻位置上的挡圈上的通孔位置上交错布置可以使得本布气法兰布气更加均匀。