[实用新型]一种软X射线显微成像探测器

权利要求书

1.一种软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述软X射线显微成像探测器包括：

腔体，所述腔体包括第一开口和第二开口，所述腔体内部设置有将自所述第一开口处入射的光反射至所述第二开口处的反射器件，所述光自所述第一开口向所述反射器件传播的方向与自所述反射器件向所述第二开口传播的方向之间具有第一夹角；

荧光转换屏，所述荧光转换屏设置于所述第一开口处；以及

光电转换器件，所述光电转换器件设置于所述第二开口处，所述光电转换器件、所述荧光转换屏与所述腔体形成密闭空间。

2.根据权利要求1所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述腔体包括相互连通的第一腔体与第二腔体，所述第一开口位于所述第一腔体上，所述第二开口位于所述第二腔体上。

3.根据权利要求2所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述第一腔体与所述第二腔体的延伸方向之间形成第二夹角，所述第二夹角与所述第一夹角的大小相同。

4.根据权利要求1所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述第一夹角的范围介于30°-270°之间。

5.根据权利要求1所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述荧光转换屏所在的平面与所述光的传播方向垂直，所述荧光转换屏的厚度介于10μm-100μm之间。

6.根据权利要求1所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述荧光转换屏的表面上设置有滤片。

7.根据权利要求6所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述滤片的可见光透过率小于1％，所述滤片的软X射线透过率不小于60％。

8.根据权利要求6所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述滤片的厚度介于60nm-500nm之间。

9.根据权利要求6所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述滤片为铝、钛、铜、铁、金或者镍。

10.根据权利要求1或者6所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述反射器件的表面设置有光反射率不小于98％的反射薄膜。

11.根据权利要求1所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述光电转换器件为硅光电倍增器件。

12.根据权利要求1所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述腔体内还设置有第一聚焦透镜，所述第一聚焦透镜位于所述反射器件和所述光电转换器件之间。

13.根据权利要求1所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述腔体内设置有聚焦透镜组，所述聚焦透镜组包括设置于所述反射器件和所述光电转换器件之间且相互平行的第一聚焦透镜和第二聚焦透镜。

14.根据权利要求1所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述第一开口处设置有调节光圈，所述调节光圈内部中空且具有透光孔，所述透光孔与所述荧光转换屏相对设置。

15.根据权利要求1所述的软X射线显微成像探测器，其特征在于，所述第二开口处设置有冷却部件，所述冷却部件向所述光电转换器件热传递。