[实用新型]一种气体流量可调的密封筒

权利要求书

1.一种气体流量可调的密封筒，其特征在于，包括：

筒体(1)；

固定座(11)；

连杆(12)，所述连杆(12)的一端可旋转设置于所述固定座(11)上，连杆(12)的另一端与所述筒体(1)的外壁固定连接；

气体管道(2)，所述气体管道(2)与所述筒体(1)连通，气体管道(2)用于通入惰性气体；

流量阀(3)，所述流量阀(3)设置于所述气体管道(2)上，流量阀(3)用于调节惰性气体流量；

调节装置(4)，所述调节装置(4)与所述流量阀(3)连接；

反馈通道(5)，所述反馈通道(5)的两端分别与所述筒体(1)和调节装置(4)连通，其用于根据筒体(1)内的压力驱动所述调节装置(4)控制流量阀(3)的开度。

2.如权利要求1所述的一种气体流量可调的密封筒，其特征在于：所述流量阀(3)包括阀体(31)、设置于所述气体管道(2)内的流通通道(32)及阀芯(33)，所述调节装置(4)用于控制阀芯(33)在阀体(31)内上下移动。

3.如权利要求2所述的一种气体流量可调的密封筒，其特征在于：所述调节装置(4)包括设置于所述阀体(31)内远离所述流通通道(32)一端的弹性膜(41)，所述弹性膜(41)将阀体(31)内空间分隔形成一个与所述反馈通道(5)连通的密封腔(42)，且弹性膜(41)与阀芯(33)固定连接并可随着阀芯(33)上下移动。

4.如权利要求2所述的一种气体流量可调的密封筒，其特征在于：所述阀芯(33)的顶部突出于所述阀体(31)位置处设置有螺纹段(34)，及与所述螺纹段(34)相匹配的调节螺母(35)，阀芯(33)外圈套设有第一弹簧(36)，且第一弹簧(36)的底部抵接于阀体(31)，第一弹簧(36)的顶部抵接于所述调节螺母(35)。

5.如权利要求3所述的一种气体流量可调的密封筒，其特征在于：所述调节装置(4)还包括增压阀(43)，所述增压阀(43)的两端分别与所述反馈通道(5)和密封腔(42)连通，其用于增大反馈通道(5)内的压力并将增大后的压力输出至密封腔(42)。

6.如权利要求2所述的一种气体流量可调的密封筒，其特征在于：所述流量阀(3)的阀体(31)固定设置于所述筒体(1)的上方，且流量阀(3)随着筒体(1)的转动而转动。

7.如权利要求6所述的一种气体流量可调的密封筒，其特征在于：所述密封筒还包括开闭机构(6)，所述筒体(1)具有密封筒待机位置，当筒体(1)处于密封筒待机位置时，开闭机构(6)抵接所述阀芯(33)的顶部，并推动阀芯(33)以使阀芯(33)堵住所述流通通道(32)。

8.如权利要求7所述的一种气体流量可调的密封筒，其特征在于：所述开闭机构(6)包括与固定座(11)连接的伸缩轴(61)，所述伸缩轴(61)的底部设置有用于抵接所述阀芯(33)的底板(62)。

9.如权利要求8所述的一种气体流量可调的密封筒，其特征在于：所述伸缩轴(61)的顶部设有挡环(63)，伸缩轴(61)外圈套设有第二弹簧(64)，且第二弹簧的底部抵接于所述底板(62)，第二弹簧(64)的顶部抵接于所述挡环(63)。