[实用新型]一种用于防止非靶材料溅射的装置有效
| 申请号： | 201921338676.6 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN210341047U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 高瑞峰;周骏贵;祁雪峰 | 申请（专利权）人： | 南京市产品质量监督检验院;高瑞峰 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210019 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 防止 材料 溅射 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于防止非靶材料溅射的装置，包括一圈绝缘材料和一圈高磁导率的软磁材料，分别简称绝缘层(6)和软磁层(5)，其特征在于：绝缘层(6)和软磁层(5)被紧密安装在磁控溅射阴极靶外框(8)的外侧，绝缘层(6)在外框(8)和软磁层(5)之间。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述绝缘层(6)采用耐高温的聚合物制作，具体材料是聚四氟乙烯、聚醚醚酮、聚酰胺、聚酰亚胺的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述软磁层(5)采用高磁导率的材料制作，具体材料是钴基非晶态合金或铁镍合金。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述软磁层(5)的顶部安装位置至少低于靶材上表面2mm，但不低于靶材的下表面。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述软磁层(5)的底部安装位置至少覆盖至磁路模块(4)底部。
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