[实用新型]一种等离子体处理装置

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，其特征在于：包括箱体（1）以及设置在箱体（1）内的电极管，电极管的两端分别连接有进水管（12）和出水管（16），进水管（12）和出水管（16）与箱体（1）之间均设置有密封件（13），在箱体（1）内形成封闭的放电腔，箱体（1）还连接有用于对放电腔抽负压的抽负压装置；

所述的密封件（13）包括套设在对应的进水管（12）或出水管（16）外的密封筒（17）、内锁紧筒（22）以及外锁紧筒（21），内锁紧筒（22）和外锁紧筒（21）均与密封筒（17）螺纹连接，内锁紧筒（22）和外锁紧筒（21）与密封筒（17）之间均设置有密封环，内锁紧筒（22）设置在箱体（1）内。

2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：环绕所述的箱体（1）的外壁间隔设置有多个加强筋（2）。

3.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的密封件（13）还包括锁紧环（23），密封筒（17）一端的直径大于另一端的直径，形成定位台（1704），定位台（1704）设置在箱体（1）外，密封筒（17）的另一端伸入箱体（1）内并与箱体（1）密封连接，锁紧环（23）设置在箱体（1）内，并与密封筒（17）螺纹连接，进水管（12）或出水管（16）分别穿过对应的密封筒（17）伸入箱体（1）内，且进水管（12）或出水管（16）分别与对应的密封筒（17）密封连接。

4.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的箱体（1）外设置有第一法兰盘（19）和第二法兰盘（20），第一法兰盘（19）与箱体（1）固定连接，第二法兰盘（20）与第一法兰盘（19）可拆卸的连接，第一法兰盘（19）和第二法兰盘（20）均套设在对应的密封筒（17）外，并与密封筒（17）之间密封设置。

5.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的密封筒（17）设置在箱体（1）内的一端的内径大于中部的内径，形成内连接部（1703），内锁紧筒（22）一端伸入内连接部（1703）并与内连接部（1703）螺纹连接，并压紧对应侧的密封环。

6.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：环绕所述的密封筒（17）中部外壁设置有密封槽（1701），密封槽（1701）与箱体（1）之间设置有水管密封圈（25）。

7.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的进水管（12）和出水管（16）的长度大于或等于7m。

8.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的箱体（1）为一侧敞口的长方体箱体，箱体（1）的敞口侧转动安装有箱门（3），环绕箱体（1）的敞口侧设置有箱体密封圈（9），箱门（3）上设置有与箱体密封圈（9）相配合的密封环（4）。

9.根据权利要求8所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述的箱门（3）与箱体（1）之间设置有缓冲弹簧（10）。