[实用新型]陶瓷盘搬运装置

说明书

本实用新型涉及一种陶瓷盘搬运装置，包括轨道机构及设置在轨道机构上的机械手机构，机械手机构包括端板、安装在端板上的第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一导轨、第二导轨、定位板、推板，端板内开设有两滑槽，两滑槽内分别设置有第二驱动气缸，两第二驱动气缸与推板固定连接，第二驱动气缸的伸缩杆与定位板连接，第一驱动气缸的伸缩杆与推板连接，第一导轨可沿着端板内壁移动，第二导轨可沿着第一导轨移动，定位板固定在第二导轨上。该陶瓷盘搬运装置能够自动抓取或存放陶瓷盘，从而便于陶瓷盘中转以供后续使用，同时可以实现二次伸缩，从而大大提高了整个装置的抓取范围。

技术领域

本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种陶瓷盘搬运装置。

背景技术

中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。

现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等。晶圆片贴在陶瓷盘上经加工后需要进行铲片(下片)处理，铲片后的晶圆片经收集后进入下一工位，而陶瓷盘也被转移至其他设备进行清洗、烘干等操作。现有技术中，陶瓷盘的存放和抓取都是通过人工操作，费时费力，很容易对陶瓷盘表面损伤，影响后续使用。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺点，本实用新型提供一种抓取范围广、自动化程度高、能够保证陶瓷盘的产品质量的陶瓷盘搬运装置。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种陶瓷盘搬运装置，包括轨道机构及设置在轨道机构上并可沿轨道机构上下、左右移动的机械手机构，所述机械手机构包括端板、安装在端板上的第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一导轨、第二导轨、定位板、推板，所述端板内开设有两滑槽，两滑槽内分别设置有第二驱动气缸，两第二驱动气缸与推板固定连接，第二驱动气缸的伸缩杆与定位板连接，所述第一驱动气缸的伸缩杆与推板连接，第一导轨可沿着端板内壁移动，第二导轨可沿着第一导轨移动，所述定位板固定在第二导轨上，第一驱动气缸的伸缩杆伸出时驱动推板移动，带动第二驱动气缸顺着滑槽移动，并带动第一导轨顺着端板内壁移动，实现第一次伸缩，两第二驱动气缸的伸缩杆伸出，带动第二导轨沿着第一导轨移动，从而带动定位板伸出，实现第二次伸缩。

为了便于机械手机构全方位移动，所述轨道机构包括横向轨道机构及纵向轨道机构，所述纵向轨道机构包括升降电机及纵向轨道，所述机械手机构设置在纵向轨道上，机械手机构与升降电机连接，升降电机可驱动机械手机构沿纵向轨道上下升降，所述横向轨道机构包括驱动电机及横向轨道，所述纵向轨道设置在横向轨道上，纵向轨道与驱动电机连接，驱动电机可驱动纵向轨道沿横向轨道左右移动。

作为优选，所述纵向轨道顶端固定有移动架，所述移动架可沿横向轨道左右移动。

作为优选，所述移动架上固定有两升降电机，所述两升降电机同时驱动机械手机构沿纵向轨道上下移动。

为了避免陶瓷盘在搬运过程中从定位板上脱出，所述定位板呈U型，其具有4个定位块，用于对陶瓷盘定位。

为了便于整个装置可沿导轨移动，所述端板两侧固定有可沿导轨移动的滑块。

本实用新型的有益效果是：该陶瓷盘搬运装置能够全方位自动抓取或存放陶瓷盘，从而便于陶瓷盘中转以供后续使用，同时可以实现二次伸缩，从而大大提高了整个装置的抓取范围，本实用新型自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤陶瓷盘，保证了产品质量。

附图说明

图1为本实用新型的陶瓷盘搬运装置的立体结构示意图；

图2为本实用新型的机械手机构的立体结构示意图；

图3为本实用新型的定位板的结构示意图。

具体实施方式