[实用新型]晶圆片刷洗甩干机构

权利要求书

1.一种晶圆片刷洗甩干机构，其特征在于：包括定位平台组件及刷洗组件，所述定位平台组件包括旋转动力件、旋转平台、吸盘、升降动力件、升降座及保护罩，所述吸盘固定在旋转平台上，所述旋转平台与旋转动力件连接，旋转动力件可驱动旋转平台及吸盘旋转，所述保护罩套设在旋转平台外，保护罩固定在升降座上，所述升降动力件与升降座连接，升降动力件可驱动升降座及保护罩上下升降，从而使旋转平台进入或脱出保护罩，所述刷洗组件包括刷盘、刷盘驱动件、刷盘摇摆动力件、摇臂及摇臂升降驱动件，所述刷盘对应设置在吸盘上方并与刷盘摇臂固定连接，刷盘与刷盘动力件连接，所述刷盘动力件可驱动刷盘轴向旋转，所述刷盘摇摆动力件与摇臂连接，刷盘摇摆动力件可驱动摇臂及刷盘摇摆，所述摇臂升降驱动件与刷盘摇摆动力件连接，摇臂升降驱动件可驱动刷盘摇摆动力件升降。

2.根据权利要求1所述的晶圆片刷洗甩干机构，其特征在于：所述保护罩包括外罩及内罩，所述外罩固定在支架上并套设在内罩外，所述内罩固定在升降座上并可随升降座上下升降。

3.根据权利要求2所述的晶圆片刷洗甩干机构，其特征在于：所述晶圆片刷洗甩干机构还包括清洗水槽，所述清洗水槽固定在外罩上。

4.根据权利要求1所述的晶圆片刷洗甩干机构，其特征在于：所述升降动力件通过升降组件与升降座连接，所述升降组件包括升降架及导向杆，所述升降架与升降动力件的伸缩杆连接，升降架通过若干导向杆与升降座固定连接。