[实用新型]一种防损坏的硅片脱胶架

权利要求书

1.一种防损坏的硅片脱胶架，包括活动挡板(1)和顶板(27)，其特征在于：所述活动挡板(1)的表面开设有第一透液孔(2)、上穿孔(3)、中穿孔(4)、下穿孔(5)和侧螺孔(6)，所述第一透液孔(2)位于活动挡板(1)中部，所述上穿孔(3)、中穿孔(4)、下穿孔(5)和侧螺孔(6)在活动挡板(1)的两侧从上到下依次排列，所述上穿孔(3)被第一导向杆(7)贯穿，所述第一导向杆(7)的右端固定连接有支撑杆(8)，所述支撑杆(8)的上表面开设有搁置槽(9)，所述中穿孔(4)被第二导向杆(10)贯穿，所述第二导向杆(10)的右端固定连接有防护杆(11)，所述下穿孔(5)被第三导向杆(12)贯穿，所述第三导向杆(12)的右端固定连接有承接杆(13)，所述侧螺孔(6)被丝杆(16)贯穿，所述丝杆(16)的右端固定连接有侧分隔杆(17)，所述侧分隔杆(17)的表面活动连接有套圈(18)，所述套圈(18)的表面与隔板(19)固定连接，所述隔板(19)的内侧开设有凹槽(20)，所述第一导向杆(7)、第二导向杆(10)和第三导向杆(12)位于活动挡板(1)左侧部分的表面开设有螺纹槽(14)，所述螺纹槽(14)和丝杆(16)位于活动挡板(1)左侧的部分均与手拧螺母(15)螺纹连接，所述支撑杆(8)、防护杆(11)和承接杆(13)的右端与固定挡板(21)固定连接，所述固定挡板(21)和活动挡板(1)的顶端均固定连接有勾爪(26)，所述固定挡板(21)的表面开设有第二透液孔(22)和侧穿孔(23)，所述第二透液孔(22)位于固定挡板(21)的中部，所述侧穿孔(23)位于第二透液孔(22)的右侧，所述侧穿孔(23)的内侧固定连接有轴承圈(24)，所述轴承圈(24)被侧分隔杆(17)的右端贯穿，所述侧分隔杆(17)的末端固定连接有手拧柄(25)，所述顶板(27)两侧的下端开设有穿棍孔(28)，所述穿棍孔(28)被搁置棍(29)贯穿，所述搁置棍(29)放置于搁置槽(9)的内侧，所述顶板(27)的底端通过胶体与硅片(30)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种防损坏的硅片脱胶架，其特征在于：所述上穿孔(3)、中穿孔(4)和下穿孔(5)关于第一透液孔(2)各自对称分布有两个。

3.根据权利要求1所述的一种防损坏的硅片脱胶架，其特征在于：所述搁置槽(9)的截面为多个连续的S形。

4.根据权利要求1所述的一种防损坏的硅片脱胶架，其特征在于：所述丝杆(16)的长度小于或等于第一导向杆(7)、第二导向杆(10)和第三导向杆(12)的最大长度。

5.根据权利要求1所述的一种防损坏的硅片脱胶架，其特征在于：所述套圈(18)的内径大于侧分隔杆(17)的外径。

6.根据权利要求1所述的一种防损坏的硅片脱胶架，其特征在于：所述隔板(19)的长度小于侧分隔杆(17)与支撑杆(8)的最短距离。

7.根据权利要求1所述的一种防损坏的硅片脱胶架，其特征在于：所述凹槽(20)的高度大于防护杆(11)的半径。

8.根据权利要求1所述的一种防损坏的硅片脱胶架，其特征在于：所述侧穿孔(23)的位置与侧螺孔(6)的位置相对应。

9.根据权利要求1所述的一种防损坏的硅片脱胶架，其特征在于：所述勾爪(26)在固定挡板(21)和活动挡板(1)的顶端均对称分布有两个。