[实用新型]一种高温尾气环保处理装置

说明书

本实用新型公开了一种高温尾气环保处理装置，具体是一种能够保持顶盖的稳定性，不会发生横移，有效避免在顶盖处凝结的大块残渣堵塞燃烧室中的进气管的装置，其有效解决了现有的滤渣在粉碎后不易去除的问题。燃烧室底部固定并连通有用于供尾气进入的进气管，所述弹性组件包括固定在装置外壳内壁的套管、插接于套管下部的伸缩杆、以及用于弹性连接伸缩杆和套管的弹簧，其中，所述弹簧设置在套管内，套管上端固定在装置外壳的内壁上，弹簧上端抵接在套管顶部，弹簧下端抵接在伸缩杆上端，伸缩杆下端固定连接顶盖。

技术领域

本实用新型涉及一种尾气处理装置，具体是一种高温尾气环保处理装置。

背景技术

硅片制造的很多工艺如热生长氧化物、离子注入后硅片表面的热退火、淀积膜、玻璃体回流及硅化物膜的形成等等均需要使用到高温炉设备。由于这些工艺与温度有密切关系，这就使高温炉在IC制造中成为非常关键的因素。

高温炉通常包括工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气处理装置及温控系统。工艺腔是对硅片进行加热的装置，硅片传输系统实现在工艺腔中装卸硅片，气体分配系统则通过将正确的气流传送到工艺腔来维护工艺腔内的气氛，尾气处理装置用于清除和处理工艺腔中产生的工艺尾气，温控系统控制工艺腔的温度及升降温的速率等。

中国专利公开了一种高温炉尾气处理装置（申请号201010181279.X，授权公告号为CN102252330B），该装置在现有技术的基础上做出改进，可使尾气残渣在掉落的时候被残渣粉碎装置上的长短相间的凸起尖端打碎，尾气残渣不易结块，避免了大块的尾气残渣直接掉落堵塞尾气燃烧口及排水口，不必经常停机对尾气处理装置进行清理维护。

但是该装置存在一个致命的缺陷，不可否认，在顶盖处凝结的大块残渣在凸起尖端的作用下确实会被粉碎，但是粉碎后依旧会滞留在粉碎装置上，长时间的积累，即使是粉碎的残渣依然会对燃烧室上口处的粉碎装置造成封堵，虽然不再对进气管堵塞，但是会对燃烧室的上口堵塞，而且造成堵塞的残渣还不易去除。

实用新型内容

基于上述背景技术中所提到的现有技术中的不足之处，为此本实用新型提供了一种高温尾气环保处理装置。

本实用新型通过采用如下技术方案克服以上技术问题，具体为：

一种高温尾气环保处理装置，包括装置外壳、设置在装置外壳内部的燃烧室、通过弹性组件设置在燃烧室上方的顶盖、以及设置在装置外壳上部的循环喷液组件，所述燃烧室底部固定并连通有用于供尾气进入的进气管，所述弹性组件包括固定在装置外壳内壁的套管、插接于套管下部的伸缩杆、以及用于弹性连接伸缩杆和套管的弹簧，其中，所述弹簧设置在套管内，套管上端固定在装置外壳的内壁上，弹簧上端抵接在套管顶部，弹簧下端抵接在伸缩杆上端，伸缩杆下端固定连接顶盖。

作为本实用新型进一步的方案：所述装置外壳的内部下方设置有水腔，水腔连通循环喷液组件，循环喷液组件包括固定在装置外壳内壁上方的海绵过滤层、位于海绵过滤层上方的多个喷水阀、连通喷水阀的循环管、以及连通水腔和循环管的循环泵，其中，在装置外壳的顶部设置有出气口。

作为本实用新型再进一步的方案：还包括过滤组件，所述过滤组件包括二级滤板、一级滤板以及转动机构，所述二级滤板呈圆环状并滑动连接在固定于燃烧室外壁的滑槽中，转动机构包括固定在燃烧室上部内壁的保持架、转动设置上在保持架中央的转轴、固定在转轴下端的叶轮，其中，一级滤板固定在转轴的上端。

作为本实用新型再进一步的方案：所述装置外壳的一侧上密封铰接有门板，门板自由端与装置外壳之间通过插销固定。

作为本实用新型再进一步的方案：所述进气管端部固定连接点火盘。