[实用新型]定位装置及具有该定位装置的湿法制程设备有效
| 申请号： | 201921289555.7 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN210199443U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 陈钰林;杨震宇;闵淼淼;蔡宇 | 申请（专利权）人： | 咸阳彩虹光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01S17/06 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 张晓 |
| 地址： | 712000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 定位 装置 具有 湿法 设备 | ||
1.一种定位装置(1)，其特征在于，包括光纤传感器(11)，所述光纤传感器(11)包括发射探头(111)和接收探头(112)，且所述发射探头(111)和所述接收探头(112)位于同一平面内，其中，
所述发射探头(111)与所述接收探头(112)之间设置有阻挡件(3)，且所述阻挡件(3)的顶部高于所述发射探头(111)的顶部。
2.根据权利要求1所述的定位装置(1)，其特征在于，还包括安装底座(4)，所述发射探头(111)、所述接收探头(112)和所述阻挡件(3)均固定在所述安装底座(4)上。
3.根据权利要求2所述的定位装置(1)，其特征在于，所述阻挡件(3)包括连接部(31)以及可拆卸地安装在所述连接部(31)上端的挡板部(32)，所述连接部(31)通过紧固件安装在所述安装底座(4)上，以使所述阻挡件(3)能够相对于所述安装底座(4)竖向滑动。
4.根据权利要求3所述的定位装置(1)，其特征在于，所述挡板部(32)竖向设置在所述发射探头(111)与所述接收探头(112)之间。
5.根据权利要求1所述的定位装置(1)，其特征在于，所述阻挡件(3)的顶部高于所述发射探头(111)的顶部5-7mm。
6.一种湿法制程设备，其特征在于，包括流体供给系统、喷嘴(5)、传送单元(2)、以及权利要求1至5中任一项所述的定位装置(1)，其中，
所述喷嘴(5)设置在所述传送单元(2)的上方且连接至所述流体供给系统；
所述定位装置(1)设置在所述传送单元(2)的下方，且所述定位装置(1)的所述阻挡件(3)与所述传送单元(2)下表面具有预定间距。
7.根据权利要求6所述的湿法制程设备，其特征在于，所述预定间距为3-7mm。
8.根据权利要求6或7所述的湿法制程设备，其特征在于，所述传送单元(2)为平行设置的多个滚轴，且所述滚轴沿相同方向转动。
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