[实用新型]微透镜母模有效
| 申请号： | 201921285847.3 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN210666082U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 黄玲玲 | 申请（专利权）人： | 北京万应科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 刘金峰 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透镜 | ||
1.一种微透镜母模，其特征在于，包括：衬底、金属连接层和多排金属半球部，相邻两排金属半球部之间设置有间隙，每排金属半球部包括多个金属半球，相邻金属半球之间具有空隙，所述金属半球与金属连接层一一对应，所述金属连接层贴合在所述衬底上，所述金属半球固定在金属连接层上。
2.如权利要求1所述的微透镜母模，其特征在于，所述金属连接层包括金属粘接层和抗扩散层，金属粘接层沉积在衬底上，抗扩散层沉积在金属粘接层上，金属半球设置在抗扩散层上。
3.如权利要求2所述的微透镜母模，其特征在于，所述抗扩散层的厚度大于金属粘接层的厚度。
4.如权利要求3所述的微透镜母模，其特征在于，所述抗扩散层的厚度为金属粘接层厚度的十倍。
5.如权利要求4所述的微透镜母模，其特征在于，所述抗扩散层的材质为金，所述金属粘接层的材质为钛。
6.如权利要求5所述的微透镜母模，其特征在于，所述抗扩散层的厚度为480-510纳米，金属粘接层厚度为480-510纳米。
7.如权利要求6所述的微透镜母模，其特征在于，相邻金属半球的间距相等。
8.如权利要求7所述的微透镜母模，其特征在于，相邻两排金属半球部的间距相等。
9.如权利要求1-8任一所述的微透镜母模，其特征在于，所述衬底为圆形板。
10.如权利要求1-8任一所述的微透镜母模，其特征在于，所述金属半球的材质为熔点低于500℃的低熔点金属或者合金。
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